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紫金山实验室 - 竞价结果公告（NCBPMLABS2025000159）
招标详情
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400-688-2000
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***********公司企业信息
**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2025-07-17 15:01:55
申购单号： ****
申购主题： SGKY202****0079-定制磁控溅射镀膜机器
采购单位： ****
竞价开始时间： 2025-07-04 16:46:36
竞价截至时间： 2025-07-07 16:56:26
币种： 人民币
付款方式： 默认货到验收合格后付款，如有异议请备注。
备注说明： 货期，质保等必要信息请备注。
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 320000.00
送货时间： 发布竞价结果后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 定制磁控溅射镀膜机器 | 不限，报价单位请备注 | 320000.00 | 质保2年 | 配置： 1.最大可镀4英寸（Φ100mm）1片或者均布其它规格小片；基片台配挡板、旋转，加热 3只2inch圆形平面靶，3台电源，直流2台/射频1台 2.配负偏压电源 3.4路工艺气体 4.PLC手自动控制，触摸屏操作 参数：1.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ550×H500mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304无磁不锈钢材质； 2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于2500m3/h，双级旋片泵抽速不小于32m3/h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa； 3.▲真空极限：优于2.3×10-7Torr； 4.★抽速：抽至3.7×10-6 Torr≤20min； 5.▲基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台需要设计旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：PID智能温控表，控温范围室温～600℃；配负偏压电源一台； 6.★阴极靶：3只2英寸圆形平面靶，射频靶需采用原装进口品牌，靶头内部需采用全金属密封，不得采用胶圈密封，以满足超高真空应用。靶材安装不需要固定压环，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。靶头可调整角度不小于±45°，可单靶轮流/多靶聚焦共溅射； 7.溅射电源：直流电源2台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，要求自动匹配； 8.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封； 9.气路系统：不少于四路工艺气体MFC 控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要； 10.操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，触摸屏不小于15英寸，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效； 11.其它：冷却循环水机1台，制冷量不小于1P；镀膜设备及外围设备（冷水机等）总占地面积不超过1平米。 | 1.0套 | 不限，报价单位请备注 | 320000.00 | **** |
招标进度跟踪
2025-07-17
中标通知
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