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| 低应力掩膜等离子体增强钝化设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 低应力掩膜等离子体增强钝化设备 |
| 预算金额: | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****1100航天专用工艺设备
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| 采购需求概况 : |
1)薄膜沉积温度:>350°C; 2)薄膜应力:<-100MPa(折射率1.50); 3)片内厚度均匀性(6英寸硅晶圆去边 5mm):<+3%;
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| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写