江苏大学桌面式扫描电镜采购信息公示

序号

货物名称

是否为进口设备

单位

数量

是否属核心产品

1

桌面式扫描电镜

是

套

1

是

序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

1

运行环境要求

1.1 电源：110~240V，50/60 Hz，1KW

1.2温度：操作环境15°C- 30°C;

1.3 湿度：＜80%RH

1.4总体要求：可对样品表面形貌快速检测；后期可拓展安装样品EDS能谱探测器；设备操作简便，科研技术人员可以快速掌握操作方法；设备在满足分辨率的前提下能够进行快速成像；设备对放置环境要求低；设备维护周期长。

2

电子光学系统

▲2.1分辨率：5nm @30KV (SE Image) ；10nm@30KV (BSE image)，以金颗粒为标准样品，用分辨率测试软件提供分辨率测试结果；

2.2电子枪：三极自动偏压，预对中钨丝阴极，

★2.3放大倍数：10X~300,000X ,提供软件截图证明；

▲2.4加速电压：1-30kV, 每1kV为一步连续可调，提供软件截图证明；

2.5电磁对中器：四极电磁式

2.6电磁透镜：2级聚光镜，1级物镜，

2.7物镜光阑：四位可变孔径（20μm、20μm、50μm、100μm）

2.8消像散器：八极电磁式

2.9扫描光栅运动：电位移 ±50μm，电旋转360°

核心性能指标

3

真空系统

3.1全自动控制，真空、高压互锁安全保护，高真空时间小于3分钟

3.2配备涡轮分子泵真空系统

3.3配备旋片式机械泵|真空规|电动真空闸板阀|逻辑控制阀门

3.4高真空优于9x10-3Pa

3.5 电子枪束流实时显示（0-200uA）

关键部件

4

样品室系统

▲4.1样品台：五轴马达驱动样品台X、Y、Z三轴自动，R轴电子束360°旋转，提供软件截图证明；

▲4.2样品台行程：X≥40mm；Y≥40mm；Z≥5-40mm；Tilt，±90°；R,360°，提供软件截图证明

▲4.3可放置最大样品尺寸：直径80mm，高度60mm，提供测量尺寸证明

4.4工作距离：5-53mm

▲4.5 Z轴可在拍照过程中自由调节，提供软件截图证明

★4.6 样品室尺寸: 长≥140mm；宽≥140mm；高≥80mm，提供测量尺寸证明

重要部件

5

探测器系统

5.1配备二次电子探测器（SE）

5.2配备高灵敏度四分割半导体背散射电子探测器（BSE）

★5.3配备红外CCD相机用于观察样品上表面到物镜下表面的工作距离（提供软件截图证明）

关键部件

6

扫描模式

6.1 聚焦模式：320x240 pixel，可移动，尺寸可变

6.2 TV扫描模式：800x600 pixel

6.3 慢扫描模式：用于TV模式及聚焦模式

6.4 照相模式：最大3200x2400 pixel

6.5 高级扫描模式：动态聚焦

重要功能

7

拍照及存储

7.1图像格式：BMP, TIFF, JPEG,PNG

7.2自动功能：

7.3亮度/对比度,

7.4聚焦，电子枪对中、偏压、饱和，

7.5物镜光阑摇摆对中，

7.6自动照相

重要功能

8

参数显示

8.1 加速电压实时显示1kV-30kV

8.2 放大倍率实时显示10X~300,000X

8.3 束斑尺寸有20个档位

8.4 工作距离实时显示

8.5 样品台位置实时显示

9

软件功能

9.1 灯丝寿命统计

9.2 同用户下可更改保存文件夹

9.3 预览模式和对焦模式多帧合成

10

控制系统

10.1 基于Win10/Win11，Virtuoso专用控制软件；

10.2 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具、图像实时灰度直方图显示；

10.3 不低于酷睿i5 2.0GHz CPU、Win10/Win11、4G内存/500G硬盘、24英寸LED显示屏；

10.4 100%鼠标键盘操作。

11

随机附带耗材

11.1预对中灯丝 10支，

标准样品托10个，

11.2镊子1个，

11.3碳双面导电胶带1盘，

11.4专用工具1套。

12

随机附带资料

12.1操作手册 1份；

12.2工厂验收报告。

13

主机尺寸及重量

13.1外形尺寸：≤410（W） x 440（D） x 520（H）mm ；

13.2整机重量：≤65kg；方便随时移动设备用于现场测试。

14

其他

▲14.1配备原厂离子溅射仪，要求和主机为同一品牌。

14.2配备超声波振荡器。