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| 面向原子级功能晶体表/界面科学的脉冲激光沉积系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 面向原子级功能晶体表/界面科学的脉冲激光沉积系统 |
| 预算金额: | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****2402真空应用设备
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| 采购需求概况 : |
1)样品台直径≥1 inch (可实现10×10 mm2样品生长),最高加热温度≥900 °C,可编程控制升降温速率,原位测温最高至1000 °C;2)主腔真空度< 1×10-8 mbar,二路气体N2、O2;3)多靶位扫描靶台系统,多靶台位移台,可软件控制靶材切换和面扫;4)准分子激光器,最大功率700 mJ,重频10 Hz;5)RHEED系统最高工作气压≥ 0.5 mbar,信号采集与处理软件
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| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写