韶光芯材（浏阳）科技有限公司高精密半导体光掩模基板与高世代FPD光掩模基板制造基地项目环境影响评价文件拟审批前公示

项目名称

****高精密半导体光掩模基板与高世代FPD****基地项目

建设地点

****开发区****侧、**路东侧

建设单位

****

环境影响评价机构

******公司

项目概况

****购买**经开区****侧、**路东侧地块，拟投资100000万元建设高精密半导体光掩模基板与高世代FPD****基地，项目拟建设5栋建筑，包括1#生产厂房、2#生产厂房、3#生产厂房、4#动力厂房、5#仓库，引进先进的抛光、清洗、检测、涂胶、镀膜等生产设备和辅助设施，生产高端光掩模基板，总设计产能为年产高精密半导体光掩模基板40000片，高世代FPD光掩模基板4500片。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1）废气

本项目酸碱废气经密闭车间内集气罩收集+碱液喷淋塔处理后经排气筒高空排放，氟化物、硫酸雾的排放浓度和排放速率可满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准，氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准。涂胶废气在涂胶机密闭空间内产生，由密闭管道收集，经二级活性炭吸附处理后经排气筒高空排放，VOCs（非甲烷总烃）排放浓度和排放速率可满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准。无组织排放废气中氟化物、硫酸雾、氯化氢、氨浓度可满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996），氨、臭气浓度可满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1标准限值，厂区内非甲烷总烃可满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）中表A.1排放限值。

2）废水

本项目含铬废水经预处理+反渗透+多效蒸发处理，不外排；含氟废水加氯化钙沉淀预处理，抛光废水混凝沉淀预处理，预处理后的废水与酸碱废水混合后中和处理进入A2O生化处理工序处理，生活污水经化粪池处理，排入市政污水管网，****处理厂深度处理，对地表水环境影响小。

3）噪声

本项目主要噪声源为切割机、研磨机、抛光机、清洗机、镀膜机、纯水机、中央空调等，通过选用低噪声设备、采取基础减振、墙体隔声等措施，厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准，对周边声环境影响不大。

4）固体废弃物

本项目运营期产生的生活垃圾****园区环卫部门处置；废包装材料、镀膜工序前废弃工件、废滤芯、废反渗透膜****回收部门回收再利用；废弃化学原料包装、镀膜工序后废弃工件、废光刻胶、清洗酸碱废液、废活性炭、废靶材、含铬废水蒸发残渣及含铬污泥等危险废物按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求进行分类收集、贮存，定期委托有资质单位按《危险废物转移管理办法》要求进行转移、处置。