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| 无掩膜紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年9月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 无掩膜紫外光刻机 |
| 预算金额: | 168.300000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
该设备主要用于实现微米甚至纳米级别的结构制备,要求至少配备两组光刻镜头,同时支持步进式和扫描式光刻,具备交互式套刻指引功能,具备光学主动对焦功能,支持光刻镜头电动切换。支持显微观测且不会引起光刻胶变性。软件要求能够实现原位光绘功能、物像绑定功能、成像拼接功能、畸变矫正功能、支持阵列画图、套刻画图。
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| 预计采购时间: | 2025-09 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写