多功能复合镀膜系统寻源公告

1.项目地点

****集团****公司（**市**区空港大道599号）。

2.项目范围

多功能复合镀膜系统，1套

3.设备需求

多功能复合镀膜系统包括前处理设备、真空镀膜系统和测试设备。其中前处理主要包括超声波清洗装置和抛光机；真空镀膜系统包括真空室、真空系统、手/自动控制系统、偏压电源、等离子辅助清洗装置、电弧阴极系统、磁控溅射阴极、离子源、工件装载系统、加热系统、冷却水循环系统等；检测设备主要为薄膜性能测试的纳米压痕仪。

4.设备基本要求

（1）主要技术指标

﹒有效镀膜区域：Φ1000×H950mm

﹒极限真空≤5.0×10-4Pa；

﹒工作真空度：2.0×10-3 Pa（从大气抽至2.0×10-3 Pa，≤60分钟）

﹒压升率：≤5Pa/12h

﹒工作温度：80～350℃，最高额定温度：350℃，控温精度：±5.0℃

（2）真空镀要求零件表面洁净、粗糙度好，因此要求该系统具备抛光功能，能完成零件粗糙度提升；具备除油功能，能完成零件真空镀前的清洗；具备脉冲磁控和多弧离子镀功能，能实现PVD涂层制备，包括DLC、Ta-C、TiN、CrN、WCC、复合碳膜等，应用范围包括机械零部件涂层、铜铝加工刀具涂层、模具涂层等。

5.商务要求

设备制造商应具有真空镀膜设备的设计、制造能力，企业应通过ISO9001质量管理体系认证或相关认证；近3年应有不低于5台（套）真空镀膜设备（单台（套）设备超150万元）的生产及销售业绩。

6时间要求

截止初步交流时间：2025年8月31日。

7.其它

交流厂家需提供技术方案。

8.联系方式

技术负责人：陈先生电话：189****8226

项目经理：杨先生 电话：178****1685