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| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-在线观测调整架 | 用途:实验站真空腔内多套在线观测显微镜设备的精确定位和姿态调整。 数量:1批 主要功能参数: 1.工作真空度≤10-6mbar 2. 最大水平负载≥20kg 3. 垂直负载≥2kg 4. 最小分辨率≤1μm 5. 重复性≤±0.5μm 6.带编码器 7. 控制器轴数不少于16轴 8. 配有焊接型控制接口馈通法兰,满足超高真空要求 9. 支持EPICS二次开发及系统集成 供货周期:签订合同后不超9个月 质保期:1年 |
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