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| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-独立狭缝系统 | 用途:实验站真空腔内多套四刀清洁狭缝设备。 数量:1批 主要功能参数: 1.工作真空度≤10-9mbar 2. 最大水平负载≥2kg 3. 垂直负载≥500g 4. 定位分辨率≤2nm 5. 重复性≤±50nm 6.带编码器 7.位移台和控制器轴数不少于30轴 8. 配有焊接型控制接口馈通法兰,满足超高真空要求 9. 提供四刀狭缝单晶硅刀边材料和集**装 10.支持EPICS二次开发及系统集成 供货周期:签订合同后不超9个月 质保期:1年 |
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