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大面积真空蒸镀设备
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
****2025年8至9月政府采购意向-大面积真空蒸镀设备 详细情况
| 大面积真空蒸镀设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年8至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 大面积真空蒸镀设备 |
| 预算金额： | 210.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2402真空应用设备
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| 采购需求概况 ： |
1.采购功能或需求：一.真空要求，真空室由SUS304不锈钢制成，内部电解抛光处理，减少表面放气；极限真空：9.0×10-5 Pa (经烘烤除气后)；抽气速度：从大气到5×10-4 Pa (≤60 min)；腔体漏率小于5.0*10-9 Pa.m3/s，保压：12小时≤10 Pa。二.基片要求，基片尺寸：1200*600 mm；基片温度≤65 ℃；基片运动方式采用单次流片或往复运动。三.蒸发源，2个点源组成一组蒸发源，一共3组蒸发源，分别用于蒸镀金属银，金和金属氧化物，每组蒸发源的最高蒸发温度为1600℃。四.镀膜参数要求，蒸镀速率：0.1~30 A/s；每组蒸发源保证600mm宽幅方向均匀性，镀膜重复性≤±5%；膜厚均匀性≤±5%；膜厚测量：Inficon膜厚仪或同级品牌。五.控制系统，控制系统采用 PLC方式，可实现电脑全自动传输样品、抽真空、镀膜、控制膜厚等。2.采购数量：1套设备。3.设备使用时长：设备预期使用时长：10年，预期年度使用频率：365天/年。
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| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-12-10
合同公告
大面积真空蒸镀设备
2025-08-08
招标预告
大面积真空蒸镀设备
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