开启全网商机
登录/注册
高精密光学镀膜机系统（清采比选20251355号）采购公告
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
| 高精密光学镀膜机系统 | 项目编号**** | |
| 2025-08-09 08:34:37 | 公告截止日期2025-08-12 09:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后30%，发货前55%，验收合格后3个月内15% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后65个工作日内 | |
| ￥ 480000.00 | ||
| 科创十街19号院地下3层 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单index
| 高精密光学镀膜机系统 | 1 | 套 |
| **国泰 |
| ￥ 480000.00 |
| （1） 镀膜材料 高精密光学镀膜机应支持蒸发 Au，Cr，Al，SiO2，Si，ZrO2，TiO2，Ta2O5 等镀膜材料进行光学膜层镀制，允许使用工艺气体 Ar 和 O2。 （2） 基板旋转系统及加热系统 ****中心驱动，工作时的旋转速度可设定调整，自动镀膜时可自行切换工件旋转速度并能根据设定速度自动切换，加热系统配置温控仪，控制方式为PID 自动控制及显示，温度可编程控制，多组控制参数设定，设定最大烘烤温度≥200℃，温度可控可调。 （3） 蒸发源 蒸发源系统包括高压电源（速度脉冲额定技术，瞬时抑弧反应），灯丝电源（包括阴极加热，发射控制器），电子束偏转电源。完全整合入镀膜机自带控制系统，在坩埚表面提供一个可编辑的电子束光斑，在 X 和 Y 方向点偏转扫描震动（图形模式），在设定的点位之间采用线性连接。配置 2 支 270°E 型电子枪，可通过改变磁场，使电子束扫描整个膜料表面，避免了“挖坑”现象的出现。最大功率 10KW，输出稳定性小于±2%，发射电流 0-1000mA，稳定性±2%。 配置有直冷坩埚，采用光电编码器对坩埚进行精确定位，配置电动转位和点动转位，能够实现自动正反转。 （4） 离子源 霍尔离子源可以通过轴向磁场使工艺气体等离子体化，轴向磁场的强烈不平衡将气体离子分离成离子束，离子源可以有效减少薄膜的微结构损伤和空隙，在合适的离子源参数下制备的薄膜具有质量好(硬、化学稳定、低应力)，致密度高等特性。霍尔离子源包括阳极结构，阴极中和器，流量计等，氩气流量计最大流量不低于 50 sccm，氧气流量计最大流量不低于 50 sccm。 （5） 膜厚监控系统 高精密光学镀膜机应配置膜层物理厚度监控系统，用于镀膜速率和膜厚测量，由系统控制，并通过显示器进行操作（包括输入设定参数，显示实际数据等）。常用的控制膜厚方法包括石英晶体监控，可自动记录蒸发速率，镀膜控制系统的主要性能包括自动熔料功能，自动镀膜功能，Essential Macleod 的 runsheet 的设计数据变换功能，过程数据记录功能。该设备在光学镀膜工艺中可实现单层金属膜或介质膜 2%的膜厚均匀性（膜层厚度小于 10um，基底为 4 寸晶圆）。 |
招标进度跟踪
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
