集成电路科学与工程学院8吋化学机械抛光研发耗材竞价结果公示

发布时间: 2025年08月10日
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****8吋化学机械抛光研发耗材竞价结果公示 发布时间:2025-08-10

项目信息

项目名称

8吋化学机械抛光研发耗材

追踪号

202****70002

采购单位名称

****

成交信息

成 交 价

366369.73元

成交供应商

****

采 购 清 单

序号

名 称

规格型号

数 量

1

二相流喷嘴

/RN02201-R-PFA

1件

2

抛光头晶圆保持环

/11051-8551A

20件

3

晶圆刷洗棒从动轮

/0000-0524A

6件

4

晶圆真空吸盘

/RC02201-RE-PEEK

1件

5

抛光头气膜

/11051-8110B

20件

6

聚乙烯醇晶圆刷洗棒

/BS401-0

48件

7

晶圆刷洗棒驱动轮

/0.60000-0420A

12件

公示期从2025年08月10日起至2025年08月11日18:00止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的,可在公示期内以书面形式(包括联系人、地址、联系电话)将意见反****大学****;
监督人:张老师,
联系方式: 010-****3693,
邮箱:gaogj@buaa.****.cn。

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