招标详情
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400-688-2000
项目名称 | 特气柜 | 项目编号 **** |
公告开始日期 | 2025-08-02 16:02:48 | 公告截止日期 2025-08-08 16:00:00 |
采购单位 | **** | 付款方式 合同签定生效后,预付合同总额的 40%;货物到达需方指定地点并安装验收合格,双方签字确认后,七个工作日内支付合同总额的 60%余款。 |
联系人 | 联系电话 |
签约时间要求 | 到货时间要求 合同签定生效后14个工作日内 |
预算总价 | ¥ |
发票要求 |
含税要求 |
送货要求 |
安装要求 |
收货地址 | ****八里台校区伯苓楼副楼微纳平台 |
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明 |
采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 特气柜 | 2 | 台 | |
品牌 | 无 |
型号 | 无 |
预算单价 | ¥ |
技术参数及配置要求 | 1.用于微纳加工平台NH3和SiH4的特气瓶放置: 1.1优选柜体尺寸:双瓶柜长×宽×高:750mm×600mm×2100mm 1.2运行方式:自动供应+自动吹扫 1.3数字接口:以太网+RS485通讯接口 1.4系统电源:主电源:220VAC 50/60HZ;输出:24VDC 1.5工作环境:温度:5-35℃;湿度:≤85%RH(无冷凝) 1.6连接方式:VCR连接 1.7认证:SEMI S2、CE 双认证 2.气体相关 2.1工艺及吹扫气瓶最大压力:2650psig 2.2 吹扫流量:吹扫时流量70-80LPM,非吹扫时约6LPM 3.接口规格 3.1工艺出口:1/4"×0.035" wall(6.35mm×0.89mm wall) 3.2排气口:3/8"×0.035" wall(9.525mm×0.89mm wall) 3.3普通氮气(真空发生器用)、气动入口、高压氮气入口:均为 1/4"×0.035" wall(6.35mm×0.89mm wall) 4.排气要求 4.1操作窗口空气流速:平均值至少200英尺/分钟,各点最小150英尺/分钟 4.2静态压力测量位置:排气口上方6****工厂其他排气系统,专为所用气体设计) 5.技术参数配置 5.110" 触摸屏(中文界面,中文操作) 5.2可编程控制器(OMRON系列PLC) 5.3自动吹扫功能 5.4换瓶时氮气正压保护 5.5过滤器(前端≤0.4μm,终端≤0.003μm) 5.6真空发生器(Venturi 型,快速排气) 5.7压力传感器(真空排放管、钢瓶侧、供气侧、吹扫气压力传感器) 5.8排风系统(排风风阀、排风压差表、排风压差开关) 5.9安全装置(红外/紫外火警探测器、高温报警探测器、烟雾报警探测器、喷淋头UL认证) 5.10操作窗、闭门器、门锁 5.11停机功能(紧急停机功能、远程停机功能) 5.12盘面吹扫,管线吹扫功能 5.13手动供应模式 5.14压力传感器自动/手动校准功能 6.负责现场的安装和调试。 |
参考链接 |
售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
变更信息
成交供应商: |
成交金额: | ¥ 262000 |
变更理由: | 符合要求,价格最低 |