安徽大学原子级精准材料表征设备系统采购项目

标的名称: 原子级精准材料表征设备系统。包括：原子分辨发射光谱表征的低温扫描隧道显微镜测试子系统 1套，预算750万元：在原子尺度精准解析单个点缺陷的局域电子态密度和发光特性，电子能级能量分辨率≤10 meV，发光光谱成像空间分辨率≤5 ，解决了传统发射光谱技术系统平均效应无法区分单个缺陷的单体光电特性的瓶颈问题，应用于量子比特材料缺陷调控、单光子源定位等前沿研究。原子级精准材料表征设备系统-原子分辨拉曼光谱表征的低温扫描隧道显微镜测试子系统 1套，预算750万元：实现半导体材料中单个点缺陷的原子级振动指纹拉曼光谱的精准识别，突破传统光谱技术无法区分单缺陷的瓶颈，通过STM的原子级定位与拉曼光谱的指纹识别，直接关联缺陷的成键结构，振动频率分辨率≤3 cm-1，拉曼光谱成像空间分辨率≤2 ，为第三代半导体的缺陷调控及量子器件研发提供关键支撑。聚焦离子束/扫描电镜双束扫描加工测试子系统 1套，预算730万元：通过高精度离子束刻蚀与电子束实时成像协同工作，专为制备超尖锐针尖而优化，针尖曲率半径≤5 nm，满足针尖增强光谱、近场光学显微镜等尖端表征技术对超高分辨率探针的需求。氦气闭环自纯化回收子系统 1套，预算200万元：主要用于高效回收、纯化和液化氦气（回收率≥95%），实现氦**的循环利用。该系统可连续生产液氦（≥40L/天），并配备存储装置，为原子级精准材料表征设备系统的低温实验提供稳定支持。原子尺度多模态光谱成像子系统1套，预算570万元：核心为原子尺度的扫描探针增强光谱成像技术，同时集共聚焦显微拉曼、荧光成像、近场光学显微等技术于一体的综合表征系统，光谱成像分辨率可实现固体晶格中单个键长量级的空间分辨率，可在原子级分辨率下实现材料结构、光学和电学等多维度物性关联分析。需满足的要求: 专为原子级精准表征需求特殊定制研发的先进综合表征系统，通过特殊研制的超高精度模块化组件和智能化控制系统，实现半导体材料在原子尺度的多维度物性精准解析。采购招标的相关设备需符合国家相关标准，质量合格，满足科研需求；生产厂家针对本项目提供原厂售后服务(包括上门安装和调试等)，免费服务时限不少于1年，并能提供匹配科研需求的设备定制化服务。

不专门面向中小企业采购：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，****政府采购目标实现的情形