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南开大学材料科学与工程学院超高真空磁控多靶位共溅射系统采购项目

天津 -天津

发布时间： 2025年08月18日

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大学工程学院溅射采购项目

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****2025年8至12月政府采购意向-********学院超高真空磁控多靶位共溅射系统采购项目详细情况

********学院超高真空磁控多靶位共溅射系统采购项目
项目所在采购意向：	****2025年8至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	********学院超高真空磁控多靶位共溅射系统采购项目
预算金额：	294.000000万元(人民币)
采购品目：	A****0699其他试验仪器及装置
采购需求概况：	名称：超高真空磁控多靶位共溅射系统。数量：1套。主要性能和技术指标：1、可定制超高真空腔体，符合高真空要求的不同尺寸法兰口；极限真空可达3×10-8mbar。2、配备全量程规，薄膜规等实现气压的检测与反馈。3、基片夹具，满足4inch基片的夹取需求，可加热至850摄氏度，溅射距离可调。4、进气系统：配备3路100sccm流量计实现工艺气体的注入。5、配备2inch阴极5套，可以实现4inch基片的均匀沉积。6、配备4套直流电源（输出精度电压、电流或功率的标称值的±1%）和1套射频电源实现薄膜的制备。采购标的需满足的质量、服务、安全和时限等要求：满足采购人在技术需求中的要求。
预计采购时间：	2025-09
备注：