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埃芯半导体小数值孔径椭圆偏振光谱仪项目

审批

广东-深圳-坪山区

发布时间： 2025年08月19日

项目详情

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基本信息

省级项目编号

****

项目分类

其它

建设单位

****

组织机构代码

MA5GEN966

项目所在地

**省**市**区

详细地址

**区观盛五路1****科技园埃芯半导体

立项文号

2508-440311-04-05-768246

立项级别

地市级

****机关

****委员会

立项批复时间

2025-08-18 00:00:00

总投资（万元）

10600

总面积/长度（平方米/米）

建设规模

本项目旨在研发并产业化对标美国KLA F20型号的小数值孔径椭圆偏振光谱仪，总投资1.06亿元人民币。项目****实验室、精密机械装配区、****中心及配套功能区，建筑面积约500平方米，形成年产10台该光谱仪的设计生产能力。产品性能达到或超越国际先进水平，实现全部关键零部件自主可控，并通过头部半导体企业的产线验证与进口替代。

建设性质

工程用途

计划开工日期

数据等级

资金来源

项目环节

工程招投标

无

合同信息

无

施工图审查

无

施工许可

无

工程竣工验收备案

无

工程竣工验收信息

无

业绩技术指标

无

参建单位

建设单位

企业名称/姓名

****

组织机构代码/身份证号码

MA5GEN966

关键岗位人员

无

工作单位

****

担任角色

建设单位项目负责人

无

工作单位

****

担任角色

建设单位驻场人员

项目诚信

暂无信息

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

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