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激光直写光刻机（清采比选20251452号）采购公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
| 激光直写光刻机 | 项目编号**** | |
| 2025-08-22 16:05:23 | 公告截止日期2025-08-25 17:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后50%，验收合格后50% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个工作日内 | |
| ￥ 498000.00 | ||
| **市****逸夫科学技术楼 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单index
| 激光直写光刻机 | 1 | 台 |
| ￥ 498000.00 |
| 一、货物名称 无掩模版紫外光刻机，一台 二、技术要求 1.★光刻精度：最小线宽≤1.5 μm，光刻镜头工作距离≥19 mm 2.★具备交互式套刻指引功能 3.▲具备图像识别对焦功能 4.曝光波长：405 nm 5.★数字掩模分辨率：≥1920 × 1080，微镜尺寸≤7.6 um 6.显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 7.▲支持最大样品厚度：≥8 mm 8.▲支持最大样品尺寸：≥40 mm × 40 mm 9.★支持样品旋转 10.样品吸附：支持样品吸附 11.★设备软件： 原位光绘功能 物像绑定功能 成像拼接功能 畸变矫正功能 12.画图软件：支持阵列画图、套刻画图 注：带“★”号标记的条款为强制要求，带“▲”号标记的条款为重要指标，无标记条款为一般指标。 |
| 12个月 |
成交信息
招标进度跟踪
2025-08-25
2025-08-22
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