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华南师范大学2025年08月至2025年09月政府采购意向
招标详情
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***********公司企业信息
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2025年08月至2025年09月采购意向公开如下：
| 1 | ****物理学院采购DGM-269电子束蒸发系统 |
标的名称：DGM-269电子束蒸发系统
标的数量：1
主要功能或目标：满足国家级****中心、教育部基础学科拔尖学生培养计划2.0的教学实验平台建设需求。该设备在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。
需满足的要求：1.优质SUS304不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。 2.采用进口涡旋分子泵和涡旋干泵本底真空优于9x10-7Pa。 3.T-S基距：＞450mm。 4.电E型电子枪，工作真空10-9mbar； 配6穴直冷式坩埚。 5.高精度膜厚控制仪，厚度和速率分辨率/测量：±0.015 ，速率显示：0.01 /秒。 6.设备可升级高通量掩模版，通过掩膜板的运动在基片上实现连续二元和**组分薄膜沉积。
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按规定落实 | 1,210,000.00 | 2025年09月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025年08月23日
招标进度跟踪
2025-08-23
招标预告
华南师范大学2025年08月至2025年09月政府采购意向
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