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| **** | 项目名称探测器芯片测试加工服务 | |
| ****学院 | 经办人李雪妍 | |
| 295000.00 人民币 | 成交金额295000.00 人民币 | |
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| **市-市辖区-**区 | 采购单位 | **** |
| 服务完毕验收合格后100%付款。 | ||
| 139****3350 | 服务时间2025年09月05日 至 2025年09月15日 | |
| **省-**市-**大街2699号 | ||
| 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 1、工艺数据与报告交付时随片提供完整工艺流程记录、关键测试数据及复现指导文档;在 用户合理需求范围内,补充一次数据说明或复测报告。 2、保密义务设计文件、工艺参数和测试数据严格保密,未经书面许可,不向任何第三方披 露。 | ||
| img****0825_****5824.png | ||
| 电子、通信与自动控制技术研究服务 | 名称探测器芯片测试加工服务 | |
| 项 | 数量1 | |
| ¥295,000.00 | 总价¥295,000.00 | |
| (1)锗材料外延 ● 在 SOI 基底指定区域内完成高质量锗外延生长; ● 外延方式为低温 Ge 种子层+高温 Ge 厚膜生长m; ● 表面粗糙度要求满足后续器件集成需求。 (2)离子注入与激活退火 ● 对外延 Ge 区域进行掺杂,注入能量和剂量将根据器件仿真参数设定; ● 注入后需执行标准退火工艺进行激活。 (3)金属开窗与互连制作 ● 在器件接触区域打孔以暴露接触面,适配后续金属沉积; ● 需完成引出 Pad 区制作,支持探针测试或打线封装。 | ||
| 设 备 类:林老师: 0431-****7310 工 程 类:白老师: 0431-****7313 服务及其他货物:李老师: 0431-****7309 |