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DY2025018-北京大学微波功率源单一来源公示

结果-候选人公示

北京 -北京

发布时间： 2025年08月27日

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****实验室主要从事氮化物宽禁带半导体材料与器件研究，目前承担了大尺寸、高均匀性、快速碳基半导体材料外延生长课题任务，以推动新型宽禁带半导体制备与应用及与传统氮化物的集成。实验室需要微波功率源产生高能量微波，激发气体形成等离子体，从而实现等离子体中的原子在衬底表面的沉积。常用的碳源气体为甲烷和氢气的混合气体，为实现大尺寸、均匀、快速的碳原子沉积，须微波功率源能够提供较低频率(<1GHz)、较高功率(>50kW)的微波，才能实现大体积、**度的碳源气体等离子体，确保碳原子的快速沉积、薄膜的均匀生长和质量控制。经过调研，目前国内只有**优普****公司的微波功率源能够同时提供频率915MHz、稳定功率54kW的输出以维持**度等离子体实现快速材料生长，满足上述项目研究需求。因此，特申请以单一来源的方式进行采购。

单一来源公示2025年8月27日到2025年9月3日。