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三轴机等离子体精密加工装置采购公告

广东 -深圳

发布时间： 2025年08月27日

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等离子精密加工采购公告

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**** **** 竞采采购公告

采
购
明
细

序号

名称

数量

单位

三轴机等离子体精密加工装置（核心货物）

套

是否接受进口	拒绝进口
品牌	无推荐品牌
型号	无推荐型号
技术规格及参数	1.2套射频电源匹配器:COMET， cito Plus 1310-ACNA-N25A-FP。 2.流量计：氩气 30slm 数量1 ；四氟化碳 200sccm,数量1；氧气 30sccm,数量1；氦气 10slm,数量1 。 3.X轴行程≥300mm,重复定位精度≤±1μm，直线度≤±10μm，分辨率0.1μm，最大运动速度5000mm/min。 4.Y轴行程≥300mm,重复定位精度≤±1μm，直线度≤±10μm，分辨率0.1μm，最大运动速度5000mm/min。 5.Z轴行程≥200mm,重复定位精度≤±1μm，直线度≤±10μm,最大运动速度5000mm/min。 6.C轴转台行程≥±90°，重复定位精度≤10″，最大运动速度≥10rpm，XY轴加速度0.5 G。 7.工作台面平面度≤10μm。 8.通光孔径内面形PV≤100nm，RMS ≤10 nm。
质保期	1.质保期：设备保修期为一年 2.为保证售后服务质量，****制造厂家授权文件和售后服务承诺 3.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）
售后要求	24小时电话响应，48小时到达现场服务。重大问题或其他无法迅速解决的问题争取在一周内解决或提出明确解决方案。