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| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 多腔匀胶显影机 |
| 预算金额(元): | 3,100,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 本设备目的是能够支持学生学习半导体制造过程中的光刻胶旋涂、烘干和显影的操作技能,以及多个胶泵协同的多路光刻胶的工艺,并支撑半导体制造工艺科研项目研发等需求,适用4/6/8寸硅及玻璃晶圆的匀胶显影机。 |
| 预计采购时间: | 2025-10 |
| 联系人: | 党老师 |
| 联系电话: | 0755-****7623 |
| 备注: | 无 |