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北京怀柔实验室SOC 2025年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告(1)

结果-开标公示

北京 -北京

发布时间： 2025年08月29日

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实验室机电设备采购项目公告

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相关单位：

***********公司企业信息

项目编号： ****

公告类型：评标公示

截止时间： 2025-09-01 17:00:00

招标机构： ****公司

招标地区： **市

项目名称：****SOC 2025年第一批机电设备采购项目
招标项目编号：****
招标范围：磁控溅射仪作为核心工艺装备，将支撑超顺磁TMR材料的关键功能层制备与膜堆结构调控，需具备单溅射腔多靶位高精度切换能力（≥12个靶位）、优异的膜厚均匀性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉积精度（0.01nm），优于10-8 Torr的极限真空度、稳定的射频与直流溅射源、可控的成分调配系统以及低粒子污染的沉积环境，以实现膜层结构的高一致性与批次重复性，为高精度传感芯片的大规模开发和薄膜工艺优化提供坚实支撑。
招标机构：****公司
招标人：****
开标时间：2025-08-22 09:30
公示开始时间：2025-08-29 11:02
评标公示截止时间：2025-09-01 17:00
中标候选人名单：无中标人