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手套箱真空对接设备（WS2025080012）延期公告

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广东 -深圳

发布时间： 2025年09月01日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

手套箱公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

延期信息

延期理由：

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

手套箱真空对接设备	****
2025-08-27 17:43:09	2025-09-04 19:00:00
****	签订合同后支付70%货款；设备到货安装验收合格后凭验收报告支付30%货款。

	签约后90个工作日
￥430000.00




省市**区清华国际一期A座412室
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

手套箱真空对接设备

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 430000.00

1. 一个真空腔体：柱状Loadlock腔体，材质为316或304不锈钢，配备符合超高真空要求的不同尺寸法兰口； 2. 一个直通法兰； 3. 一套分子泵，氮气抽速60 L/s； 4. 两套无油涡旋机械泵，10 m3/h抽速； 5. 一套全量程规，DN35CF，测量范围：5e-9 mbar ~ 1e3 mbar，包含控制线； 6. 一套磁耦合传样杆，行程≥550mm，磁耦合传样杆，包含TH100 抓取手； 7. 一套磁耦合传样杆，行程≥850mm，磁耦合传样杆，包含两工位停放台组件； 8. 一套SCIENCE PROBE DN63CF闸板阀； 9. 一套高温样品架包含： 1）加热台，温度调节范围≥400 K-900 K（须包含此范围）； 2）支撑杆； 3） CF35线性驱动，行程：≥150 mm，手动； 4） CF35旋转驱动，行程：≥360°，手动； 5）温控电源1台，含热偶、加热器控制线； 10. 一套减震波纹管连接手套箱，DN63CF； 11. 一套微漏阀：VAT DN16CF； 12. 一个超高真空视窗法兰； 13. 一套快速进样门：CF63，手动，无差分口，DN63CF； 14. 一套高效微波等离子裂解源，用于刻蚀、PECVD、ALD、表面处理、产生自由基和反应粒子等（参考型号：SWPS-100）： 1）适用气体：N2，H2，O2，稀有气体等； 2）安装法兰：CF35； 3）工作频率：425MHz ； 4）最大功率：200 W；

服务网点:不限;电话支持:7x8小时;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;