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特种电子功能靶材用特种材料研制中心一期工程

审批

陕西-宝鸡

发布时间： 2025年09月03日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0301MAD7WU5211	鲁涛
柏红翠	****高新区
****开发区产业大道302号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

特种电子功能靶****中心一期工程	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-电子专用材料制造
	**高新区 **高新区
经度:107.490556 纬度: 34.305556	**开发区**中心
	2024-11-26
高新环评审批〔2024〕114号	**0301MAD7WU**001Z
2024-12-04	2498.03
13.52	****
****0301MAD7WU5211	市**公司
916********342116A	市**公司
916********342116A	2025-05-20
2025-05-21	2025-08-21
2025-08-04	2025-09-01
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=50804rvTNs

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产单质金属靶材100t，合金金属靶材100t	年产单质金属靶材100t，合金金属靶材100t
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

①配料：配料前，先用电子秤将海绵钛、铜、铁等原料称量准确，然后依次准确称量。本项目原材料均为颗粒状固体，故配料过程不会产生废气、灰尘。 ②三次熔炼：所有物料需经过三次熔炼，两次磁感应熔炼炉主要为去除使物料纯度更纯及使物料合金化；一次使用电子束炉主要去除物料中的气孔。真空悬浮熔炼炉：真空度2×10-2pa、温度1800℃-2000℃、加热时间10min、冷却时间1h、抽真空时间40min。熔炼过程包括装料、抽空、熔化、冷却、出料等几个步骤。装炉是把要熔的金属材料装入坩埚中，装料前须将坩埚和炉膛清理干净。装好料就可进行抽真空。当压力达到一定的真空度（2×10-2Pa），开始进行熔炼，熔炼表面的工作温度约1800-2000℃，整个过程全在密闭状态下完成，可通过可视内光学观察系统看见炉内熔化状态，并根据熔化状态进行操作。熔化过程采用高频电流产生磁场进行加热。在熔炼过程中，为保证炉内真空度，真空系统继续工作，磁悬浮熔炼炉抽真空装置机械润滑产生的微量含油废气，经油膜过滤装置吸附后，无组织排放。电子束冷床熔炼（EB）炉：熔炼参数：真空度1×10-1pa-1×10-3pa、温度1800℃-2000℃、加热时间1h-2h、冷却时间2h-4h、抽真空时间40min。 ③机加工：由3道子工序组成，熔炼后的半产成品为圆形铸锭，需要使用车床、线切割及磨床等设备将圆形铸锭加工成客户需要的圆形板材，机加过程车床、线切割使用切削液，磨床使用水冷却，不会产生粉尘，但此过程会产生固废。 ④抹布擦拭：机加工工件表面会有少量切削液，需要人工使用抹布进行擦拭工件表面油污，擦拭两到三遍直至工件表面无切削液，此过程会产生固废。 ⑤背板绑定（外协）：由4道子工序组成，预处理：在绑定之前，将靶材和背板表面在磨床上进行修整毛刺，以确保结合面的清洁平整。加热固定：将靶材放置在背板上，然后将背板固定在加热台上，对背板进行加热，加热温度为150℃-200℃，加热时间为30min。粘接：通过钎焊将靶材贴合在铜背板上，钎焊的温度210℃，焊料采用铟焊料。降温：完成粘接后，进行冷却降温，确保结合面的牢固和稳定，此过程也在外协厂区完成。 ⑥检验：超声波探伤扫描检验，此过程会产生少量不合格产品。 ⑦包装入库：将检验合格的产品使用真空封装机打包后放入成品库房等待交货，此过程会产生少量废包装物。	①配料：配料前，先用电子秤将海绵钛、铜、铁等原料称量准确，然后依次准确称量。本项目原材料均为颗粒状固体，故配料过程不会产生废气、灰尘。 ②三次熔炼：所有物料需经过三次熔炼，两次磁感应熔炼炉主要为去除使物料纯度更纯及使物料合金化；一次使用电子束炉主要去除物料中的气孔。真空悬浮熔炼炉：真空度2×10-2pa、温度1800℃-2000℃、加热时间10min、冷却时间1h、抽真空时间40min。熔炼过程包括装料、抽空、熔化、冷却、出料等几个步骤。装炉是把要熔的金属材料装入坩埚中，装料前须将坩埚和炉膛清理干净。装好料就可进行抽真空。当压力达到一定的真空度（2×10-2Pa），开始进行熔炼，熔炼表面的工作温度约1800-2000℃，整个过程全在密闭状态下完成，可通过可视内光学观察系统看见炉内熔化状态，并根据熔化状态进行操作。熔化过程采用高频电流产生磁场进行加热。在熔炼过程中，为保证炉内真空度，真空系统继续工作，磁悬浮熔炼炉抽真空装置机械润滑产生的微量含油废气，经油膜过滤装置吸附后，无组织排放。电子束冷床熔炼（EB）炉：熔炼参数：真空度1×10-1pa-1×10-3pa、温度1800℃-2000℃、加热时间1h-2h、冷却时间2h-4h、抽真空时间40min。 ③机加工：由3道子工序组成，熔炼后的半产成品为圆形铸锭，需要使用车床、线切割及磨床等设备将圆形铸锭加工成客户需要的圆形板材，机加过程车床、线切割使用切削液，磨床使用水冷却，不会产生粉尘，但此过程会产生固废。 ④抹布擦拭：机加工工件表面会有少量切削液，需要人工使用抹布进行擦拭工件表面油污，擦拭两到三遍直至工件表面无切削液，此过程会产生固废。 ⑤背板绑定（外协）：由4道子工序组成，预处理：在绑定之前，将靶材和背板表面在磨床上进行修整毛刺，以确保结合面的清洁平整。加热固定：将靶材放置在背板上，然后将背板固定在加热台上，对背板进行加热，加热温度为150℃-200℃，加热时间为30min。粘接：通过钎焊将靶材贴合在铜背板上，钎焊的温度210℃，焊料采用铟焊料。降温：完成粘接后，进行冷却降温，确保结合面的牢固和稳定，此过程也在外协厂区完成。 ⑥检验：超声波探伤扫描检验，此过程会产生少量不合格产品。 ⑦包装入库：将检验合格的产品使用真空封装机打包后放入成品库房等待交货，此过程会产生少量废包装物。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

环评阶段油雾消除器的数量为7台	验收阶段企业油雾消除器的数量为5台
环评阶段油雾消除器的数量为7台，验收阶段企业油雾消除器的数量为5台，目前电子束熔炼炉有两套真空系统，包含2台真空泵，真空磁悬浮炉各带1套真空系统，各包含1台真空泵，因此，现场实际有5台真空泵，每台真空泵配一个油雾消除器，本次变动减少了污染物的排放量，趋于环境有利的方向，不属于重大变动。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

环评阶段危废贮存点面积为10m2；环评阶段磨床加工过程会添加切削液，通过切削液对磨床加工区域进行降温；环评阶段电热台板有1台	验收阶段企业在车间东北的建设5m2的危险废物贮存点；但实际生产时采用水对磨床加工区域进行降温可以达到产品需求，本次磨床用水循环使用，不外排，定期将磨床过程产生的废渣过滤后回用于生产；验收阶段企业该工序外协处置，未购买该工序的设备
环评阶段危废贮存点面积为10m2，验收阶段企业在车间东北的建设5m2的危险废物贮存点，企业危险废物产生量为0.866t/a，危险废物贮存点在建设时建设5m2，现有的危废贮存点面积满足本企业现有危险废物的贮存量，危险废物贮存点符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)相关要求。对照重大变动清单相关内容，固体废物利用处置方式未发生变化，仍为委托外单位利用处置，故该变动不属于重大变动。环评阶段磨床加工过程会添加切削液，通过切削液对磨床加工区域进行降温，但实际生产时采用水对磨床加工区域进行降温可以达到产品需求，本次磨床用水循环使用，不外排，定期将磨床过程产生的废渣过滤后回用于生产，对照重大变动清单相关内容，本项目磨床加工冷却介质从切削液更换为水，属于工艺优化导致的环保措施强化，未新增环境影响，未降低原有环保要求，且显著减少了污染物产生量及环境风险。该变动不属于重大变动。环评阶段电热台板有1台，验收阶段企业该工序外协处置，未购买该工序的设备，本次变动减少了污染物的排放量，趋于环境有利的方向，不属于重大变动。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.025	0.025	0.025
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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

园区化粪池

生活污水排入化粪池处理，处理后与循环塔、****园区污水管网，由园区统一处理，进入园区污水管网的水质应达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求。氨氮、总磷参照执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B级标准

生活污水排入化粪池处理，处理后与循环塔、****园区污水管网，由园区统一处理

本次未对废水进行监测，****园区内，****园区内多家企业共同使用，监测的水质不能代表本企业的水质情况，因此，本次未监测企业废水。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

油雾处理器

本项目真空熔炼炉产生的颗粒物、氯化氢和非甲烷总烃厂界执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）无组织排放限值，非甲烷总烃厂区内执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822—2019）内厂区内排放限值

真空熔炼废气经熔炼炉配套的金属滤网、填料除尘装置和真空泵油雾分离器处理后，无组织排放

由无组织废气监测结果可知，本次厂界无组织废气颗粒物、氯化氢、非甲烷总烃监测结果均符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中无组织排放监控浓度限值要求；厂内熔炼工序车间外非甲烷总烃监测结果符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019）表A.1厂区内VOCs无组织特别排放限值要求。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

生产设备

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中3类标准限值

生产设施位于厂房内，通过墙体隔声、基础减震、软连接等降噪措施，生产时噪声可达标排放

由噪声监测结果可知，本次厂界四周昼间噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中3类标准限值要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强固体废物污染防治。按照“减量化、**化无害化”原则，对固体废物进行分类收集、处理和处置，确保不造成二次污染。按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求，规范化建设和管理固体废物贮存场所。沾染切削液的废金属边角料在收集贮存和运输环节按照危险废物进行管理；废真空泵油、废切削液、金属滤网收集的含油粉尘、废油桶、废含油棉纱或手套等作为危险废物，定期交由有危废处置资质的单位转运处置。依据《危险废物管理计划和管理台账制定技术导则》(HJ1259-2022)要求，****公司的危险废物管理计划，建立管理台账及按时申报危险废物有关资料，进一步加强危险废物环境管理。

根据现场调查，建设单位分散在车间内设置有专用收集桶（0.5m2），将废边角料、不合格产品、磨床沉渣及废包装物等一般固废进行收集，收集后其中废包装物定期交******公司回收，废边角****公司回收再利用。建设单位在厂区内设置有生活垃圾收集桶，对员工产生的生活垃圾进行收集。根据现场调查，建设单位在车间东南角设置一处危险废物贮存点（5.0m2），危险废物贮存点符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，将本项目产生的危险废物暂存于危险废物贮存点内，定期委托****安全处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程