三维非接触表面形貌仪

光学仪器

1.采购标的名称：三维非接触表面形貌仪。 2.采购标的需实现的主要功能或者目标： 2.1.可测量大尺寸平面，曲面，球面，异形面等高坡度样品的一维，二维，三维表面微观形貌。 2.2. 可得到测量样品上任意测量点的三维坐标。 2.3.可测量透明，半透明，低反射率（黑色样品），抛光样品表面形貌。 2.4.可测量一维、二维表面粗糙度、台阶高度、孔洞深度、长度，宽度面积与体等参数。 2.5.可测量透明薄膜的厚度。 3.采购数量：1套。 4.采购标的需满足的质量、安全等要求： 4.1.采购配置： 4.1.1. 三维非接触表面形貌仪 1套； 4.2. 需满足的技术指标： 4.2.1. XY方向自动扫描范围：≥150*150mm，一次成像不需要拼接； 4.2.2.扫描最小步长：≤0.1μm。 4.2.3.扫描速度：≥20mm/s。 4.2.4.Z方向测量范围：≥3mm。 4.2.5.Z方向测量分辨率：≤8nm。 4.2.6.最大测量坡度：≥85°。 4.2.7.可自行设置扫描范围，扫描步长，扫面方式，扫描速度参数。 4.2.8.自动二维，三维调平功能。 5.服务要求：供应商应提供到场安装并进行相关人员培训服务。 6.供货时限：供货时间：合同签订2个月内完**装并验收完毕。 7.其他要求：货物到达现场后，供应商应在使用单位人员在场情况下当面开箱，共同清点、检查外观，作出开箱记录，双方签字确认。供应商应保证货物到达采购人所在地完好无损，如有缺漏、损坏，由供应商负责调换、补齐或赔偿。 8.技术交流联系人及电话：付兴兰、185****6561