首页 /干法刻蚀设备研发项目

干法刻蚀设备研发项目

审批

北京-北京-大兴区

发布时间： 2025年09月08日

项目详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

干法刻蚀设备研发项目

建设地点：****开发区**大道8号1幢1层

公示时间：2025-09-08至2025-09-12

受理时间：2025-09-01

项目概况：****公司****开发区****基地作为半导体装备研发、****基地，为更好地促进我国集成电路装备产业的健康发展，****拟在现有厂区内的一期厂房内实施“干法刻蚀设备研发项目”。通过项目实施，使国产配套干法刻蚀装备进入国内主流生产线，实现产业化。项目主要进行干法刻蚀装备相关产品研发，并进行技术验证，通过离线运行、检测后，最终达到验证通过的目的。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：1.大气环境：酸性废气集中收集，依托机台废气净化装置净化，再经现状酸性废气洗涤塔净化后，通过28米高排气筒排放。2.声环境：实验验证设备均位于厂房内。3.固体废物：项目运行中产生的固体废物做到日产日清，实行分类处置，一****回收部门回收处理。

****政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

公众参与情况：2025-09-01至2025-09-05****政府网站公示，期间未收到反馈意见

联系人：董博宇

联系电话：199****0768

环评单位名称：**市劳保所****公司

听证权利告知：依据《中华人民**国行政许可法》，自公示之日起五日内，申请人及属于本项目评价范围内的利害关系人，可向我局提出听证申请

公示期间，公众可以向建设单位或环评单位咨询建设项目环境影响有关情况。

审批部门：****开发区行政审批局

邮政编码：100176

邮寄地址：荣华中路15号5层

传真电话：****9723

设定依据：1、《中华人民**国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民**国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民**国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民**国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民**国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民**国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民**国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

行政相对人名称：****

行政相对人统一社会信用代码：911********786752A

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

欢迎来电咨询～