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| 光学精密加工系统 | 1.0/ | TUO TUO Technology | TTT-07-UV Litho-MC15 | 1.曝光模组: (1)光源:LED: 380 nm (2)数字掩模分辨率:1920 × 1080 像素,微镜尺寸7.6 μm (3)大面积观测镜头 (4)光刻镜头1:20 mm2/min,最小线宽1.2 μm,工作距离19 mm (5)光刻镜头2:3 mm2/min,最小线宽0.8 μm,工作距离12 mm 2.硬件模组: (1)照**源:支持显微观测且不会引起光刻胶变性 (2)对焦模式:支持图像识别对焦 (3)样品操作:支持样品电动旋转 (4)镜头切换:支持光刻镜头电动切换 3.安装要求: (1)温度:20 – 40℃ (2)湿度:RH< 60% (3)电源:220 V,50 Hz | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |