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| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 电子束曝光机 |
| 预算金额: | 3800.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
电子束曝光机,2台,电子束曝光机要求为:1)分辨率:≤50 nm;2)加速电压:1–100 kV;3)光斑尺寸:≤16 nm;4)真空度: lt;10 Torr;5)定位精度:≤1 nm。供货期:签订合同之日起,24个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
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| 预计采购时间: | 2025-10 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写