真空多腔体磁控溅射系统

发布时间: 2025年09月12日
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****2025年10月政府采购意向-真空多腔体磁控溅射系统 详细情况
真空多腔体磁控溅射系统
项目所在采购意向: ****2025年10月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 真空多腔体磁控溅射系统
预算金额: 390.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他仪器仪表
采购需求概况 :
真空多腔体磁控溅射系统,1台,真空多腔体磁控溅射系统要求为:1)真空度:≤ 6.7*10(-5) Pa;2)射频源功率:≥ 500 W;3)薄膜均匀性:±5 % (for 4 inch);4)沉积温度:室温至500°C。供货期:签订合同之日起,24个月内货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间: 2025-10
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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