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复合镀膜系统
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
****2025年10月政府采购意向-复合镀膜系统 详细情况
| 复合镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 复合镀膜系统 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他仪器仪表
|
| 采购需求概况 ： |
含有电子束蒸镀腔、低温热蒸镀腔以及磁控溅射腔三个主要腔室。电子束蒸镀腔极限真空 lt;1.0x10-6Pa，含有4个蒸发源。磁控溅射腔极限真空 lt;1.0x10-7Pa，含有8个靶枪，可独立进气。热蒸发蒸镀室极限真空 lt;1.0x10-6Pa，样品台温度低于10K，热蒸发坩埚不少于3个，带有氦气进气系统，配有高精度流量控制仪。各腔室带有独立膜厚测量仪，膜厚均匀性好于±5%。
|
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-12-03
中标通知
上海交通大学复合镀膜系统中标公告
2025-12-03
2025-12-03
中标通知
复合镀膜系统中标结果公告
2025-11-10
2025-11-10
招标公告
复合镀膜系统
2025-09-12
招标预告
复合镀膜系统
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