电子束蒸发材料制备系统

发布时间: 2025年09月12日
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****2025年10月政府采购意向-电子束蒸发材料制备系统 详细情况
电子束蒸发材料制备系统
项目所在采购意向: ****2025年10月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 电子束蒸发材料制备系统
预算金额: 109.500000万元(人民币)
采购品目:
A****0699 其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
需要购买电子束蒸发材料制备系统一套,包含以下设备:电子束蒸发系统一套;进样腔一套;等离子体物理实验仪一套,用于我系近代物理实验教学。 组件参数和要求: 电子束蒸发系统,本底真空度小于10E-4Pa,配不少于3个靶位和电子束源,最大功率3kW,高压4-10kV可调,最大灯丝电流50A;最大发射束流不小于300mA,磁偏转角度270°,最大蒸发速率不小于1.6nm/s。 进样腔,真空度小于10E-4Pa,传样杆行程不小于30cm。 等离子体物理实验仪,本底真空优于10E-1Pa,直流电源最大参数DC1500V/1A,工作气压200Pa以内可调,最大放电电流不小于0.5A,腔体尺寸:直径约45mm*长度300mm;配套磁场0-500mT可调。
预计采购时间: 2025-10
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

招标进度跟踪
2025-10-20
2025-09-12
2025-09-12
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电子束蒸发材料制备系统
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