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西安电子科技大学2025年10月政府采购意向公开
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****大学2025年10月政府采购意向公开
为便****政府采购信息， 根据《****政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，****大学2025年10月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备 | **** | A****2099 其他电气机械设备 | 直流偏压增强微波等离子化学气相沉积系统设备，采购数量1台，要求设备18个月内保修，售后团队处于国内，售后服务长期有效，厂家通常提供专属技术顾问电话/微信支持，4小时内线上对接，48小时内可至现场解决问题，维护方便，价格合理。 具体参数为：*1.微波电源: 功率≥90kW; 2.微波泄漏率≤5mw/cm2； 3.水冷式沉积台，面积≥12英寸； 4.单晶有效生长面积≥6英寸； *5.微波换向器内天线表面全镀金； *6.≥75KW功率下连续生长时间≥200h； 7.冷却水:≥200L/min流量可调, 压差≥0.4MPa； 8.90KW功率下, 水温16~20℃(不凝露)； 9.极限真空≤10Pa(油泵), ≤1e-4 Pa(分子泵)； *10.氦检漏率≤1e-10Lm/sec； 11.分子泵排气速度≥1000L/m; 12.工作压力30~240Torr; 13.MFC≥6路，H2:10sLm，CH4:1sLm，CO2:500sccm，O2:500sccm，N2:500sccm，Ar:10sLm； *14.直流偏压100-400V可调； 15.温度范围700℃-1400℃； *16.交货期四个月 | 340 | 2025年10月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025年09月18日
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2025-09-18
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