首页 /面向强激光应用场景的大口径碳化硅单晶反射镜项目

面向强激光应用场景的大口径碳化硅单晶反射镜项目

审批

四川-眉山-东坡区

发布时间： 2025年09月22日

项目详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****1400MAACLWAD8E	王宇
邓强	眉坡区
省**园区君乐路 3 号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

面向强激光应用场景的大口径碳化硅单晶反射镜项目	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	眉坡区眉坡区
经度:103.782500 纬度: 30.040278	****环境局
	2025-01-13
眉市环建函〔2025〕2号	****1400MAACLWAD8E001W
2025-02-24	25000
222	****
****1400MAACLWAD8E	****
****1400MAACLWAD8E	******公司
****0107MA6CG4K479	2025-02-21

2025-08-22	2025-09-19
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=50822n34rR

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目建成后年产碳化硅单晶材料15吨，高质量碳化硅单晶光学反射镜10吨。	一期年产碳化硅单晶材料2.4吨、碳化硅单晶光学反射镜10吨。
项目进行分期建设，一期年产碳化硅单晶材料2.4吨、碳化硅单晶光学反射镜10吨。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）晶体生长设备石墨零部件硬化工艺流程：装料-抽真空-沉积硬化-出炉-待用。（2）晶体生长工艺流程：混料-装炉-合成-出炉-球磨-筛分-检验-籽晶检验-籽晶粘接-检验-装料-装炉-加热熔化-提拉生长-冷却-出炉-检验-晶锭退火-反射镜退火-检验。（3）反射镜加工工艺流程：切割去头尾-晶体定向-晶向修正-滚圆-定位边定向-定位边加工-切片-反射镜外圆周倒角-反射镜粗研磨-反射镜精研磨-反射镜粗抛光-反射镜精抛光-超光滑加工-过程清洗-最终刷片-最终清洗-检验。镀膜工艺流程：装炉-镀膜-出炉-检测-包装-外售。	（1）晶体生长设备石墨零部件硬化工艺流程：装料-抽真空-沉积硬化-出炉-待用。（2）晶体生长工艺流程：混料-装炉-合成-出炉-球磨-筛分-检验-籽晶检验-籽晶粘接-检验-装料-装炉-加热熔化-提拉生长-冷却-出炉-检验-晶锭退火-反射镜退火-检验。（3）反射镜加工工艺流程：切割去头尾-晶体定向-晶向修正-滚圆-定位边定向-定位边加工-切片-反射镜外圆周倒角-反射镜粗研磨-反射镜精研磨-反射镜粗抛光-反射镜精抛光-超光滑加工-过程清洗-最终刷片-最终清洗-检验。镀膜工艺流程：装炉-镀膜-出炉-检测-包装-外售。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气治理：投料混料出料粉尘：物料粒径较大，产生量极少，混料机密闭设置，投料混料出料在密闭洁净车间内进行，粉尘经洁净车间过滤后无组织排放；碳化硅球磨筛分粉尘：球磨机和筛分机全密闭设置，合成后的碳化硅为块状，球磨后的物料粒径较大，仅球磨和筛分出料过程中产生少量粉尘，球磨筛分在密闭洁净车间内进行，粉尘经洁净车间过滤后无组织排放；B栋厂房硬化废气：沉积炉密闭设置，废气通过设备自带管道收集，硬化废气收集后经1套喷淋系统处理后由 15m 高排气筒（DA001）排放；3#车间硬化废气：沉积炉密闭设置，废气通过设备自带管道收集，硬化废气收集后经1套喷淋系统处理后由 15m 高排气筒（DA002）排放；过程清洗碱性废气：清洗机密闭设置，自带废气收集管道，碱性废气（氨）收集经喷淋处理后经1根15m高排气筒（DA003）排放；最终清洗酸碱废气：反射镜最终清洗在密闭RCA清洗机中进行，设备自带废气收集管道，分别收集酸性废气（硫酸雾、氯化氢、氟化氢）和碱性废气（氨），酸性废气收集经喷淋处理后通过1根15m高排气筒（DA004）排放，碱性废气收集经喷淋处理后通过1根15m高排气筒（DA005）排放；干燥废气(VOCs)：反射镜干燥在密闭干燥机中进行，干燥机与RCA最终清洗机为一体化设备，自带废气收集管道，干燥废气（VOCs）收集后最终清洗碱性废气一起喷淋处理后通过1根15m高排气筒（DA005）排放；镀膜废气：镀膜设备密闭设置，废气通过设备自带管道收集，B 栋厂房的镀膜废气收集后经1套喷淋系统处理后由 1根 15m 高排气筒（DA006）排放；柴油发电机尾气：备用柴油发电机尾气**设备处理后通过烟道输送至室外排放；噪声：①选用低噪设备，合理布局平面，设备基础减振；②空压机、风机等高噪设备设置在车间内，安装减震垫；空压机设置单独密闭房间。、废水治理：生活污水：依托博**公司已有生活污水处理设施（预处理池容积114m3）处理后经博**公司厂园区污水管网；切割研磨废水：一般性切割研磨废水收集经沉淀池（容积为4.5m3）沉淀处理后进入缓冲池（容积100m3）中和调节pH后经博**公司厂园区污水管网；反射镜清洗废水、设备清洗废水：设置废水收集管道，反射镜清洗废水、设备清洗废水收集后进入清洗废水收集池（容积为4m3）沉淀处理后再进入缓冲池（容积100m3）中和后经博**公司厂园区污水管网；车间地面清洁废水：收集经沉淀池（容积为4.5m3）沉淀处理后进入缓冲池（容积100m3）中和调节pH后经博**公司厂园区污水管网；酸碱废气喷淋废水：分别通过污水管道收集进入缓冲池（容积100m3）中和后经博**公司厂园区污水管网；纯水制备浓水、超纯水制备废水：部分用于车间地面清洁与废气喷淋用水，剩余直接通过污水管道收集后经博**公司厂园区污水管网。固废治理：生活垃圾：厂区内设置垃圾桶收集后定期由当地环卫部门及时清运处置；废石墨纸、废石墨软毡、废石墨材料：收集后暂存一般固废暂存间定期由厂家回收；不合格晶体、边角料：收集后暂存一般固废暂存间，定期外售下游对晶体质量要求不高的企业进行综合利用；固体原料废包装材料：收集后暂存一般固废辅料厂家；纯水机固废：回收站；未完成生长的碳化硅物料：全部返回本项目晶体生长工序；废过滤棉：回收站；超纯水设备固废：由厂家定期更换回收处理；含油废手套、废机油、废油桶、废研磨液、废抛光液、废清洗试剂（废酸、废碱）、液体原料废包装材料、污泥、废碱块：建设1间危废暂存间，**公司厂区东北角，1F，建筑面积约50m2。危险废物收集后分类暂存在危废间，定期交由有危废处置资质的单位处置。	废气治理：投料混料出料粉尘：物料粒径较大，产生量极少，混料机密闭设置，投料混料出料在密闭洁净车间内进行，粉尘经洁净车间过滤后无组织排放；碳化硅球磨筛分粉尘：球磨机和筛分机全密闭设置，合成后的碳化硅为块状，球磨后的物料粒径较大，仅球磨和筛分出料过程中产生少量粉尘，球磨筛分在密闭洁净车间内进行，粉尘经洁净车间过滤后无组织排放；B栋厂房硬化废气：沉积炉密闭设置，废气通过设备自带管道收集，硬化废气收集后经1套喷淋系统处理后由 15m 高排气筒（DA001）排放；3#车间硬化废气：一期项目3#车间暂未建设石墨硬化设施；过程清洗碱性废气：清洗机密闭设置，自带废气收集管道，碱性废气（氨）收集经喷淋处理后经1根15m高排气筒（DA003）排放；最终清洗酸碱废气：反射镜最终清洗在密闭RCA清洗机中进行，设备自带废气收集管道，分别收集酸性废气（硫酸雾、氯化氢、氟化氢）和碱性废气（氨），酸性废气收集经喷淋处理后通过1根15m高排气筒（DA004）排放，碱性废气收集经喷淋处理后通过1根15m高排气筒（DA005）排放；干燥废气(VOCs)：反射镜干燥在密闭干燥机中进行，干燥机与RCA最终清洗机为一体化设备，自带废气收集管道，干燥废气（VOCs）收集后最终清洗碱性废气一起喷淋处理后通过1根15m高排气筒（DA005）排放；镀膜废气：镀膜设备密闭设置，废气通过设备自带管道收集，B 栋厂房的镀膜废气收集后经1套喷淋系统处理后由 1根 15m 高排气筒（DA006）排放；柴油发电机尾气：备用柴油发电机尾气**设备处理后通过烟道输送至室外排放；噪声：①选用低噪设备，合理布局平面，设备基础减振；②空压机、风机等高噪设备设置在车间内，安装减震垫；空压机设置单独密闭房间。、废水治理：生活污水：依托博**公司已有生活污水处理设施（预处理池容积114m3）处理后经博**公司厂园区污水管网；切割研磨废水：一般性切割研磨废水收集经沉淀池（容积为4.5m3）沉淀处理后进入缓冲池（容积100m3）中和调节pH后经博**公司厂园区污水管网；反射镜清洗废水、设备清洗废水：设置废水收集管道，反射镜清洗废水、设备清洗废水收集后进入清洗废水收集池（容积为4m3）沉淀处理后再进入缓冲池（容积100m3）中和后经博**公司厂园区污水管网；车间地面清洁废水：收集经沉淀池（容积为4.5m3）沉淀处理后进入缓冲池（容积100m3）中和调节pH后经博**公司厂园区污水管网；酸碱废气喷淋废水：分别通过污水管道收集进入缓冲池（容积100m3）中和后经博**公司厂园区污水管网；纯水制备浓水、超纯水制备废水：部分用于车间地面清洁与废气喷淋用水，剩余直接通过污水管道收集后经博**公司厂园区污水管网。固废治理：生活垃圾：厂区内设置垃圾桶收集后定期由当地环卫部门及时清运处置；废石墨纸、废石墨软毡、废石墨材料：收集后暂存一般固废暂存间，定期交**公司处置，已签订《一般工业垃圾处置协议书》；不合格晶体、边角料：收集后全部返回本项目晶体生长工序生长炉；固体原料废包装材料：收集后暂存一般固废辅料厂家；纯水机固废：回收站；未完成生长的碳化硅物料：全部返回本项目晶体生长工序；废过滤棉：回收站；超纯水设备固废：由厂家定期更换回收处理；含油废手套、废机油、废油桶、废研磨液、废抛光液、废清洗试剂（废酸、废碱）、液体原料废包装材料、污泥、废碱块：建设1间危废暂存间，公司厂区4#车间东南侧，1F，建筑面积约50m2。危险废物收集后分类暂存在危废间，定期交由凉山州**公司处置，已签订《危险废物委托处置合同》。
一期项目3#车间未建设石墨硬化设施，无相应废物产生，故未建设配套废气处理设施，拟在二期建设；废石墨纸、废石墨软毡、废石墨材料由厂家回收改为交专业单位处置；不合格晶体、边角料由作为副产品外售改为自行利用；危废**公司厂**公司厂区4#车间东南侧。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

地下水污染防治：分区防渗，对危废暂存间、柴油发电机房、配电间、辅料间、切割车间、研磨车间、双面精磨间、双面CMP抛光间、CMP精抛光间、最终清洗检测间、生产废液收集池、缓冲池、酸碱废水收集沟做重点防渗，设置防渗混凝土+2mmHDPE膜，确保渗透系数K≤1×10-7cm/s，等效黏土防渗层Mb≥6m，其中危废暂存区设置防渗混凝土+2mmHDPE膜，并涂装2mm环氧树脂漆防渗，设置不锈钢托盘托底，确保渗透系数K≤1×10-10cm/s，等效黏土防渗层Mb≥6m；对沉淀池、清洗废水收集池、一般废水生产废水收集沟、生产车间内除重点防渗外的其他区域做一般防渗，采用防渗混凝土，渗透系数≤10-7cm/s，等效黏土防渗层Mb≥1.5m。除重点防渗区及一般防渗区外，其余区域均做简单防渗，采取一般地面硬化。风险防范措施：设置1座事故应急池（有效容积约100m3），制定环境风险应急预案，配置环境风险物资。	地下水污染防治：分区防渗，对危废暂存间、柴油发电机房、配电间、辅料间、切割车间、研磨车间、双面精磨间、双面CMP抛光间、CMP精抛光间、最终清洗检测间、生产废液收集池、缓冲池、酸碱废水收集沟做重点防渗，设置防渗混凝土+2mmHDPE膜，确保渗透系数K≤1×10-7cm/s，等效黏土防渗层Mb≥6m，其中危废暂存区设置防渗混凝土+2mmHDPE膜，并涂装2mm环氧树脂漆防渗，设置不锈钢托盘托底，确保渗透系数K≤1×10-10cm/s，等效黏土防渗层Mb≥6m；对沉淀池、清洗废水收集池、一般废水生产废水收集沟、生产车间内除重点防渗外的其他区域做一般防渗，采用防渗混凝土，渗透系数≤10-7cm/s，等效黏土防渗层Mb≥1.5m。除重点防渗区及一般防渗区外，其余区域均做简单防渗，采取一般地面硬化。风险防范措施：设置1座事故应急池（有效容积约100m3），制定环境风险应急预案并备案，配置环境风险物资。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

7.567	7.629	7.567	7.567
0.984	38.145	0.984	0.984
0.0009	3.433	0.001	0.001
0.0076	0.61	0.008	0.008
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
-2	0	-2	-2	/
0	0	0	0	/
0.0029	0.0038	0.003	0.003	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

缓冲池（100m3）

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中间接排放标准

缓冲池（100m3）

已监测

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	B栋厂房硬化废气喷淋系统+15m 高排气筒（DA001）	排放浓度执行《**省重污染天气金属表面处理及热处理加工等10个行业应急减排制定技术指南（试行）》电子行业B级要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值	B栋厂房硬化废气喷淋系统+15m 高排气筒（DA001）	已监测
2	过程清洗碱性废气喷淋系统+15m高排气筒（DA003）	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中标准	过程清洗碱性废气喷淋系统+15m高排气筒（DA003）	已监测
3	最终清洗酸碱废气、干燥废气喷淋系统+15m高排气筒（DA004）、15m高排气筒（DA005）	排放浓度执行《省重污染天气金属表面处理及热处理加工等10个行业应急减排制定技术指南（试行）》电子行业B级要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值；氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中标准；VOCs排放浓度执行《省重污染天气金属表面处理及热处理加工等10个行业应急减排制定技术指南（试行）》电子行业B级要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值	最终清洗酸碱废气、干燥废气喷淋系统+15m高排气筒（DA004）、15m高排气筒（DA005）	已监测
4	镀膜废气喷淋系统+15m 高排气筒（DA006）	排放浓度执行《**省重污染天气金属表面处理及热处理加工等10个行业应急减排制定技术指南（试行）》电子行业B级要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值	镀膜废气喷淋系统+15m 高排气筒（DA006）	已监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声、基础减震等

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类限值

厂房隔声、基础减震等

已监测

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

分区防渗，对危废暂存间、柴油发电机房、配电间、辅料间、切割车间、研磨车间、双面精磨间、双面CMP抛光间、CMP精抛光间、最终清洗检测间、生产废液收集池、缓冲池、酸碱废水收集沟做重点防渗，设置防渗混凝土+2mmHDPE膜，确保渗透系数K≤1×10-7cm/s，等效黏土防渗层Mb≥6m，其中危废暂存区设置防渗混凝土+2mmHDPE膜，并涂装2mm环氧树脂漆防渗，设置不锈钢托盘托底，确保渗透系数K≤1×10-10cm/s，等效黏土防渗层Mb≥6m；对沉淀池、清洗废水收集池、一般废水生产废水收集沟、生产车间内除重点防渗外的其他区域做一般防渗，采用防渗混凝土，渗透系数≤10-7cm/s，等效黏土防渗层Mb≥1.5m。除重点防渗区及一般防渗区外，其余区域均做简单防渗，采取一般地面硬化。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生活垃圾：厂区内设置垃圾桶收集后定期由当地环卫部门及时清运处置；废石墨纸、废石墨软毡、废石墨材料：收集后暂存一般固废暂存间定期由厂家回收；不合格晶体、边角料：收集后暂存一般固废暂存间，定期外售下游对晶体质量要求不高的企业进行综合利用；固体原料废包装材料：收集后暂存一般固废****辅料厂家；纯水机固废：****回收站；未完成生长的碳化硅物料：全部返回本项目晶体生长工序；废过滤棉：****回收站；超纯水设备固废：由厂家定期更换回收处理；含油废手套、废机油、废油桶、废研磨液、废抛光液、废清洗试剂（废酸、废碱）、液体原料废包装材料、污泥、废碱块：建设1间危废暂存间，****公司厂区东北角，1F，建筑面积约50m2。危险废物收集后分类暂存在危废间，定期交由有危废处置资质的单位处置

生活垃圾：厂区内设置垃圾桶收集后定期由当地环卫部门及时清运处置；废石墨纸、废石墨软毡、废石墨材料：收集后暂存一般固废暂存间，定期交******公司处置，已签订《一般工业垃圾处置协议书》；不合格晶体、边角料：收集后全部返回本项目晶体生长工序生长炉；固体原料废包装材料：收集后暂存一般固废****辅料厂家；纯水机固废：****回收站；未完成生长的碳化硅物料：全部返回本项目晶体生长工序；废过滤棉：****回收站；超纯水设备固废：由厂家定期更换回收处理；含油废手套、废机油、废油桶、废研磨液、废抛光液、废清洗试剂（废酸、废碱）、液体原料废包装材料、污泥、废碱块：建设1间危废暂存间，****公司厂区4#车间东南侧，1F，建筑面积约50m2。危险废物收集后分类暂存在危废间，定期交由凉山州****公司处置，已签订《危险废物委托处置合同》

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

设置1座事故应急池（有效容积约100m3），制定环境风险应急预案，配置环境风险物资。

设置1座事故应急池（有效容积约100m3），制定环境风险应急预案并备案，配置环境风险物资。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程