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二维材料转移与微纳器件加工联合系统

重庆 -重庆

发布时间： 2025年09月22日

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****2025年10月政府采购意向-二维材料转移与微纳器件加工联合系统详细情况

二维材料转移与微纳器件加工联合系统
项目所在采购意向：	****2025年10月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	二维材料转移与微纳器件加工联合系统
预算金额：	650.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9900其他仪器仪表
采购需求概况：	拟采购系统由手套箱互联系统、高分辨二维材料金相显微转移系统、无掩模光刻机、磁控溅射镀膜机、离子束刻蚀机、3D显微镜六部分组成，覆盖低维量子材料制备、器件加工与快速表征全流程。所有设备通过手套箱互联无缝集成，为低维量子材料与器件的“材料生长—加工—检测”全链条提供全封闭惰性气体操作环境。主要技术指标如下：手套箱：包含四个双工位手套箱，总计预留四个接口，可实现手套箱与磁控溅射、离子束刻蚀、原子层沉积和千级超净间的样品传递；箱体泄露率≤0.05 vol%/h；水氧含量≤1 ppm；金相显微转移系统：配备五轴可调衬底载物平台，配备五轴可调载玻片移动平台无掩膜光刻系统：最小线宽≤0.8 μm；套刻精度≤±1 μm 高真空磁控溅射镀膜系统：2英寸靶位数量≥7靶；衬底加热温度≥850°C 离子束刻蚀机：配备考夫曼离子源；能量0-800eV范围可调 3D显微镜：水平分辨率≤0.5μm；表面粗糙度重复精度0.01 nm 质保期：不少于1年到货期：不大于1年
预计采购时间：	2025-10
备注：