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****投资25000****经济开发区建设化学机械抛光设备等半导体器件专用设备模组制造项目。该项目环评于2025年1月23****生态环境局批复(泰环审(**)〔2025〕001号),于2025年3月28日首次取得排污许可证,编号:****;企业实际建设过程中因排气筒数量发生变化,因此重新申请了排污许可证,于2025年7月23日重新取得排污许可证。2025年5月****制定的突发环境事件应急预****生态环境局备案(备案号:321204-2025-016M)。
该项目实际建设内容包括:项目总占地面积21976平方米,建设厂房、办公及附属用房;竣工建成后,产能可达年产250台化学机械抛光设备等半导体器件专用设备模组。
根据《建设项目竣工境护验收暂行办法》(国环规环评[2017]4号)等相关文件的要求,建设单位委托**华睿****公司于2024年5月6日~9日、6月6日~7日及7月30日~31日进行了现场监测,根据建设项目环境保护施竣工验收监测技术要求和国家、地方环保要求和监测分析结果、现场检查情况编制了《****化学机械抛光设备等半导体器件专用设备模组制造项目竣工环境保护验收监测报告》,为该项目的验收及环境管理提供科学依据。