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| 三轴带中空高精度运动平台 | 1.0/ | 150000.0 | PI | XY轴M-Y00K028 Z轴V-Z03.016211E0 各一套 | 1.行程: X 102mm,Y 102mm,Z 5mm。 2.双向重复定位精度: X 1um,Y 1um,Z 0.4um。 3.精度: X ±1um,Y ±1um ,Z ±0.3um。 4.直线度: X ±2.5um,Y ±2.5um,Z ±0.5um。 5.平面度: X ±2um,Y ±2um,Z ±3um。 6.XY轴最小步进:50nm。 7.Z轴最小步进:35nm。 8.Z轴推力:150N。 9.XY台面承载力:200N。 10.总质量:28.5kg。 11.配套驱控:ACS运动套件和配套手柄。 | 质保期1年,提供免费上门安装服务以及培训服务1次 |