材料系原子层沉积设备采购采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.机架：
1.1▲框架采用铝型材搭建，重量轻便、承载能力强，散热性好。
1.2▲外壳采用碳钢烤漆及圆角处理，轻便美观。左右及后外壳采用磁力扣+平面锁固定方式，便于拆装。前外壳可根据使用空间选择开合或拆卸方式。
1.3▲显示屏360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停。

2.腔体及加热系统:
2.1▲可支持直径200 mm 基片。
2.2▲腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理。
2.3▲自动开关腔门设计，配备腔门关闭检测开关。
2.4▲喷淋设计，进气自上而下流经衬底。
2.5▲腔体四周及上下盖板具备加热保温功能。
2.6▲样品台加热温度可达500℃，温度控制精度±1℃。

3.前驱体供给及加热系统（6路）：
3.1▲配备6路前驱体源管路：2路常温源，适用于饱和蒸汽压较高的源，4路可加热源，适用于需要加热的固态或液态源。
3.2▲每路源均配备阀门、手动阀和不锈钢源瓶。
3.3▲每路源均配备载气（N2），载气管路配备计量阀、阀门。
3.4▲不锈钢管路及接头均采用EP等级，经过电解抛光处理；气体管路连接部件采用金属VCR密封。
3.5▲前驱体源瓶与腔体之间管路配备模块化一体式加热保温系统，保证管路直角接头、源瓶手动阀连接处等位置无冷凝点。源瓶及管路的控温范围：室温～120℃，控制精度：±1℃。
3.6▲提供N2气路接口用于吹扫，N2采用高精度MFC进行流量控制。

4.反应物供给系统（2路）：
4.1▲H2O管路配备阀门及水源瓶。
4.2▲提供N2气路接口用于吹扫，N2采用高精度MFC进行流量控制。

5.真空系统及加热系统：
5.1▲配置标准油泵，用于抽真空。
5.2▲配备两个真空规用于压力测量，保证真空及大气时的测量精度。1个真空薄膜规用于工艺时高精度测量，量程范围：0.005Torr~10Torr ，1个真空规用于测量至大气压，量程范围：1Torr~1000Torr。
5.3▲抽气管路配备加热装置，加热可达150℃，控温精度为±1℃。

6.离子体系统：
6.1▲选用工业用电源，质量可靠，寿命长。
6.2▲采用电感耦合远程等离子体源，频率13.56 MHz，功率可选配。
6.3▲配备自动匹配器，能够自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。
6.4▲腔体四周及上下盖板具备加热保温功能。
6.5▲腔体与等离子体装置之间集成隔离装置。
6.6▲配置1路等离子体反应气，载气管路配备质量流量计及阀门。

7.臭氧系统：
7.1▲设备系统集成国产臭氧发生器和毁灭器。
7.2▲臭氧发生器通过调节氧气流量来调节臭氧产量。
7.3▲臭氧产量：<7g/h，臭氧浓度范围：44.5-90.0 g/m3。
7.4▲设备系统配备流量计调节氧气流量。
7.5▲配备毁灭器用于处理残留的臭氧。

8.控制及软件系统：
8.1▲控制系统采用PLC+工控机+19寸触摸屏方式实现，系统通过高速以太网进行通讯。采用PLC对设备进行实时控制，同时实现基于Windows 操作系统的人机界面互动。
8.2▲输入方式：鼠标、键盘和触摸屏。
8.3▲支持逻辑互锁功能，防止用户误操作，并弹出信息对话框进行提示。
8.4▲支持“一键沉积”功能，点击运行按键即可自动完成真空抽取、升温、材料沉积、降温等一系列步骤。
8.5▲支持配方编辑功能，配备单一材料和多层材料两种模式的配方编辑，可实现单层、掺杂或复合材料的沉积。
8.6▲支持实时监测、历史数据、报警及日志功能，配方内容、工艺运行时的压力、温度、时间等参数可导出保存。
8.7▲支持源瓶维护功能，配备独立的源瓶更换操作界面，可在线清洗气体管路，用户根据流程逐步正确完成更换源瓶操作，提高用户操作的安全性。
8.8▲支持用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作，保证设备和人身安全。
8.9▲支持安全及提醒参数配置、IO互锁列表信息功能，用户可自定义设备报警范围，可通过源瓶使用情况记录了解前驱体源用量。

9.安全防护系统：
9.1▲对高温区进行隔热处理，防止可接触位置温度过高造成伤害。
9.2▲潜在的安全相关位置均粘贴安全标签用于提示用户潜在的风险及防范措施。例如：高温、危险电压等标签。
9.3▲电气硬件互锁设计包含CDA等硬件互锁（Interlock）功能，防止误操作的发生，保证设备和人身安全。

10.制程工艺及服务：
10.1▲除提供成熟的制程配方工艺之外，可以协助开发新材料的工艺制程配方，帮助节省工艺摸索的时间，提升科研效率及成果。

质保期

1年

售后要求

1. 质保期：中标人提供制造商免费质保 1 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。如未按上述约定，在收到通知后2个工作日内维修或更换不符或有缺陷的货物或部件，则甲方有权采取必要的补救措施并追究乙方的违约责任，由此导致的责任和费用由乙方承担。 2. 维修响应时间：前述保修期内，如本合同项下的货物出现损坏和故障，则乙方应在接到甲方通知后24小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保**件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证。 4. 技术培训：在用户所在地对用户给予一年内免费搬迁已安装调试完毕的合同货物1次、免费调试已安装调试完毕的本合同项下货物1次、免费培训服务1次。