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气压式多功能纳米压印机 (XJD2025092300001) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2025年09月23日

标书代写官方

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纳米采购公告

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气压式多功能纳米压印机 (****) 采购公告

发布时间：2025-09-23 09:59:25

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址现场踏勘供应商资质要求

气压式多功能纳米压印机	****
2025-09-23 09:59:25	2025-09-26 12:00:00
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	发布竞价结果后30天内送达
	人民币
省市区**

无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

气压式多功能纳米压印机

1.00

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

不限

一、系统主要功能 1.1、该设备用于紫外、热压纳米压印工艺过程，可实现高精度纳米结构复制，包含工作模具复制和高精度纳米压印，以及前道工序匀胶的功能。 1.2、具备自动压印、自动紫外固化、热固化、自动脱模，匀胶等功能，工艺过程可通过控制界面进行工艺参数设定。二、系统参数要求 1、设备加压方式 ★1.1、压印过程必须保持在真空环境下进行，为保证压印过程中迅速贴合并避免气泡产生，压印环境真空度：＜-100Kpa； ★1.2、压印过程中必须保持样品表面在固化过程中保持持续的压力，以保证压印材料在固化过程中模板与样品的紧密贴合，并尽可能避免紫外固化材料固化过程带来的缩胶影响； ★1.3、压印均一性优于 99.5%，以保证后续刻蚀工艺均一性要求； 2、纳米压印工位 2.1、设备适用 4 英寸及以下晶圆的压印，兼容各类衬底材料； 2.2、可实现自动压印和脱模过程，无需人工干预，无需手动脱模，以保证生产可靠性； 2.3、4 英寸晶圆贴合速度＜10s ，脱模速度＜10s； 2.4、设备内可完成纳米压印和工作模具复制功能； 2.5、工作模具须满足柔性，硬质模板压印需求： 3、加热功能 ★3.1、满足热压功能，控温范围为室温≥300℃，设置精度≤1℃； 3.2、冷却系统采用循环气冷； 4、紫外固化功能 4.1、曝光强度：≤800mW/cm2，UV LED 面光源，波长为 365nm，曝光面积≥φ100mm，具备寿命监控功能； 5、软件操作系统 5.1、试验：手动单片控制 5.2、Recipe 编辑：unit recipe，process recipe，lot recipe 三级编辑，逻辑清晰；三、验收指标 ★3.1、支持最小分辨率不高于 5nm 的平面压印； ★3.2、支持无残余层压印工艺； ★3.3、结构转印精度：压印结构与原始模具对比差≤±3%； ★3.4、支持曲面压印，支持微透镜阵列曲面压印；四、售后服务与培训

1.货期：合同签订后 1个月内发货 2.保修期：整机系统保修三年。自交货验收合格之日算起。质保期内无偿提供系统维护、问题修改等服务工作，包括现场技术支持和电话支持。售后电话技术服务：承诺 7×24 小时不中断呼叫服务，接到技术问题后 2 小时内给出详细的解决方案，若方案无法解决问题，改为上门服务； 3.设备安装调试：设备到达用户所在地后，在接到用户通知后 1 周内执行安装调试。 4.技术培训：安装工程师在用户现场免费对用户进行基本培训；培训内容包括仪器的结构介绍、技术原理、仪器操作使用、操作软件使用、日常保养及维护等。