开启全网商机
登录/注册
无掩膜激光直写光刻机
摘要信息
招标单位
点击查看
招标编号
点击查看
招标估价
2000000.00
招标联系人
点击查看
招标代理机构
点击查看
代理联系人
点击查看
报名截止时间
点击查看
投标截止时间
点击查看
关键信息
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
****2025年10至12月政府采购意向-无掩膜激光直写光刻机 详细情况
| 无掩膜激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 无掩膜激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0204 半导体器件参数测量仪
|
| 采购需求概况 ： |
****拟采购无掩膜激光直写光刻机一套，主要用于微纳尺度下，直接通过计算机控制激光束进行高精度、定制化的复杂二维或三维结构加工与制备。主要采购需求如下：1)工作方式：无掩膜激光直写光刻；2)最大曝光面积：≤150mm*150mm；3)最大基板厚度：10mm；4)极限解析：≤600nm；5)套刻精度：≤800nm@2inch；6)主动聚焦范围：≥±100μm；7)线宽均匀性：≤80 nm@CD800nm；8)曝光区域温度稳定性：± 0.5 ℃；8)曝光面能量均匀性：≤5%；9)最大产能：≥50mm2/min @0.8μm；10)光源：LD光源，功率3W，波长375nm；11)具备自动对准功能；12)具备自定义标记对准功能；12)具备可视化定点曝光功能；13)具备不规则样片曝光功能；14)质保期：1年。
|
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-09-23
招标预告
无掩膜激光直写光刻机
当前信息
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
