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全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统

江苏 -南京

发布时间： 2025年09月23日

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****2025年10至12月政府采购意向-全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统详细情况

全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统
项目所在采购意向：	****2025年10至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统
预算金额：	185.000000万元(人民币)
采购品目：	A****2401 真空获得设备
采购需求概况：	****拟采购全自动12英寸二维材料微纳制造集成系统一套，用于制备多种性质的二维单晶/非晶等薄膜材料。主要采购需求如下：1.溅射系统配有过渡室与镀膜室；2. 真空镀膜室极限真空度：≤6.7×10^-5Pa；镀膜室系统漏率：5×10^-7Pa.l/s；3.薄膜气相沉积系统配有过渡室与反应室；4.反应室极限真空度：≤6.7×10^-5Pa，系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa；5.样品传送系统：包含机械手，需能够在旋转、伸缩、升降三个维度运动，可根据需求预留接口；6.电控系统：电脑提供独立的实时控制系统的监督界面，串联起样品传送模块、磁控溅射模块、化学气相沉积模块； 7.有效样品尺寸：Φ12英寸，向下兼容；8.溅射片内不均匀性：≤±3％（Φ12英寸平面样品）；8.磁控靶配置：Φ6英寸磁控靶2只，Φ4英寸磁控靶2只，磁控靶安装在上，样品在下，自上而下溅射成膜；9.加热：样品加热：室温-1000℃，采用石墨加热器；10.质保期一年。
预计采购时间：	2025-11
备注：