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华南师范大学采购台式薄膜沉积系统项目
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****2025年09月至2025年10月政府采购意向-****采购台式薄膜沉积系统项目 详细情况
| ****采购台式薄膜沉积系统项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年09月至2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****采购台式薄膜沉积系统项目 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
标的名称:台式薄膜沉积系统 标的数量:1 主要功能或目标:台式薄膜沉积系统主要功能是制备高性能致密薄膜。原子层沉积通过基于样品表面饱和化学吸附和氧化还原反应，可以实现薄膜单原子层厚度生长，并可以通过控制反应循环次数来精准控制膜厚，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，制备结果具有很高的膜厚均匀性。 需满足的要求:可加热至近300℃，确保多样样品均匀沉积。侧开门密封，支持手套箱联用。反应腔温控精准（±1℃），均匀性≥99%。集成高效真空计、N2流量控制，支持连续与驻留沉积。配备高速阀门、独立加热气路、大容量前驱体瓶，保障稳定高效沉积。需预装笔记本电脑软件，便于自动工艺控制。Al2O3沉积测试显示薄膜均匀性≤±1%。
|
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025-09-24
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