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| 晶圆键合机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 晶圆键合机 |
| 预算金额: | 480.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
采购数量:1套,支持标准6英寸晶圆键合,支持键合工艺种类:阳极键合、金属共晶键合、金属热压键合,最大键合压力:60 kN;压力控制精度:≤±2%;键合压力均匀性:≤±10%@6英寸硅片,上下基板单独控温,最高可升温至550℃;温度控制精度:≤±1℃;温度均匀性:≤±1%,极限真空≤1×10-5mbar;大气压力到5×10-5mbar真空抽速时间小于5分钟,配置6英寸氮化硅材质热压键合压力盘及键合夹具,配置循环水冷却系统。
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| 预计采购时间: | 2025-10 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写