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南方科技大学氮化物材料气相沉积设备-HT意向公开
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***********公司企业信息
****氮化物材料气相沉积设备-HT意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 氮化物材料气相沉积设备-HT |
| 预算金额（元）: | 4,990,000.000 |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 氮化物材料气相沉积设备-HT通过金属有机源与氮源在高温衬底表面反应，外延生长高钪掺杂AlScN薄膜；集成温控、压控、气流闭环系统，抑制分相缺陷，实现应力与掺杂均匀，提升压电性能，用于滤波器、传感器及功率器件制造。 |
| 联系人: | 周老师 |
| 联系电话: | 135****2592 |
| 预计采购时间: | 2025-11 |
| 备注: | 无 |
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2025-09-25
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