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集成器件超快光声高精度表征与原位检测仪
招标详情
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***********公司企业信息
****2025年10至11月政府采购意向-集成器件超快光声高精度表征与原位检测仪 详细情况
| 集成器件超快光声高精度表征与原位检测仪 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 集成器件超快光声高精度表征与原位检测仪 |
| 预算金额： | 436.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0204 半导体器件参数测量仪
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| 采购需求概况 ： |
****拟采购集成器件超快光声高精度表征与原位检测仪一套，主要用于微电子/光电子集成器件内部缺陷、结构与性能的高精度综合表征与原位检测。主要采购需求如下：（1）内部结构和物理参量三维成像空间分辨率优于1×1×0.01 μm^3；（2）超快“光-声-电-磁”探测的时间分辨率≤100 fs；（3）相干声子探测频率≥3THz；（4）声速误差≤3%；（5）光声空间调制特征尺寸≤6 μm；（6）波长调制范围≥400-5000 nm；（7）质保期：1年。
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| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-12-04
2025-11-27
2025-11-05
2025-09-26
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