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舜宇奥来半导体光电（上海）有限公司研发中心二期项目

审批

上海-上海-浦东新区

发布时间： 2025年09月28日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0115MA1K4P7T9N	叶**
罗发忠	市区
市区康桥**威路299 号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

舜宇奥来半导体****公司研发中心二期项目	****

2021版本:45--098-专业实验室、****基地	M73-M73-研究和试验发展
	市区康桥镇市区康桥**威路299 号3幢B区1-2层
经度:121.63229 纬度: 31.127	****环境局
	2023-02-27
沪浦环保许评〔2023〕49号	****0115MA1K4P7T9N001Q
2025-01-26	14000
266.63	****
****0115MA1K4P7T9N	******公司
913********183075T	埃欧孚（上****公司
****0117MA1J24G69N	2025-04-18
2025-04-19	2025-10-19
2025-08-28	2025-09-24
	**事业单位环境信息公台

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本次扩建主要研究光学器件定制制造技术	本次扩建主要研究光学器件定制制造技术
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

新增压印、抛光工艺研发，研发规模分别为22500次/年、35000次/年，其他研发工艺规模增加，膜层沉积、匀胶光刻、刻蚀、去胶研发工艺分别增加52500次/年、17500次/年、75000次/年、40000次/年，项目建成后总的研发规模为每年进行22500次压印，35000次抛光，57000次膜层沉积，24900次匀胶光刻，79000次刻蚀，42000次去胶	新增压印、抛光工艺研发，研发规模分别为22500次/年、35000次/年，其他研发工艺规模增加，膜层沉积、匀胶光刻、刻蚀、去胶研发工艺分别增加52500次/年、17500次/年、75000次/年、40000次/年，项目建成后总的研发规模为每年进行22500次压印，35000次抛光，57000次膜层沉积，24900次匀胶光刻，79000次刻蚀，42000次去胶
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

压印，抛光，膜层沉积，匀胶光刻，刻蚀，去胶	压印，抛光，膜层沉积，匀胶光刻，刻蚀，去胶
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、母版匀胶前烘废气须经通风橱收集；湿法清洗有机废气、母版湿法去胶废气、等离子清洗废气、母版准分子清洗废气、母版涂胶废气、子版压印废气、成品准分子清洗废气、成品涂胶废气、成品压印废气、成品湿法去胶废气、成品匀胶前烘废气均须经密闭设备收集;上述气经收集后一并经活性炭吸附装置处理后通过35m高排气简排放，乙醇胺、N-甲基吡咯烷酮、丙酮、异丙醇、苯甲醛、环已酮、非甲烷总烃的排放须满足《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1和附录A中相关标准限值要求，甲基异丁酮、臭气浓度的排放须满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）表1、表2中相关标准值要求。母版刻蚀废气、残胶干法刻蚀废气、金属刻蚀废气、成品刻蚀废气、介质层沉积废气全部经密闭设备收集后进入就地处理系统处理和碱洗塔处理;湿法清洗酸性废气、湿法去胶酸性废气、刻蚀铬废气、铝湿法刻蚀废气、介质层抛光酸性废气经密闭设备收集后，与通风收集的检测废气一并进入碱洗塔处理，上述废气一并通过 35m 高排气简排放。氟化物、Cl2、SO2、NOx、HCl、HBr、乙酸、NMHC、硝酸雾、磷酸雾、硫酸雾、颗粒物、钛及其化合物、铬及其化合物、硼及其化合物的排放须满足《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1和附录A中相关标准限值要求，氨、臭气浓度的排放须满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）表1、表2中相关标准限值要求，其中铬及其化合物不得检出。母版显影废气、成品显影废气、介质层抛光碱性废气均通过密闭设备收集后，与通风橱收集的湿法清洗碱性废气一并进入酸洗塔处理，尾气通过 35m 高排气简排放。NH3、臭气浓度的排放须满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）表1、表2中相关标准值要求。项目应加强管理，严格控制废气无组织逸散，确保厂界废气浓度达到相应标准。 2、项目须实行雨污分流。铬湿法刻蚀工艺、就地处理系统水洗过程以及碱洗塔运行过程产生的含铬废水依托现有项目污水处理设施采用物化法（化学沉淀）处理，酸性废水、碱性废水、有机废水、晶圆冲洗废水、抛光废水、含铝废水、纯水制备反冲洗废水、酸洗塔废水等进入污水处理设施采用物化法（化学沉淀）处理。污水处理设施排水与纯水制备排污水、空调园区管网，最终和生活污水一并经市政污水管处理厂集中处理。含铬废水中的总铬在车间排口（放流监控池）处浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1限值要求；废水总排口（废水监控池）中pH、COD、SS、氨氮、总氮、总磷、TOC、氟化物等因子浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1值要求。 3、项目应选用低噪声设备，采取有效减振、隔声、消声、吸声等降噪措施，确保厂界噪声须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准限值要求。 4、固体废物应按《中华人民国固体废物污染环境防治法》、《危险废物贮存污染控制标准》等有关规定分类收集、暂存并妥善处置，危险废物应委托有资质单位处置。	湿法清洗有机废气G3、母版湿法去胶废气G8、等离子清洗废气G9、母版准分子清洗废气G10、母版涂胶废气G11、子版压印废气G12、成品准分子清洗废气G13、成品涂胶废气G14、成品压印废气G15、成品湿法去胶废气G18、成品匀胶前烘废气G22、通过密闭设备收集；母版匀胶前烘废气G5通过通风橱收集；上述废气经收集后与一期的有机废气一道进入现有的活性炭吸附装置，处理达标后自35m高的DA001排气筒排放。母版刻蚀废气G7、残胶干法刻蚀废气G16、金属刻蚀废气G17、成品刻蚀废气G20、介质层沉积废气G25经密闭设备收集后，进入二期新增的就地处理系统处理，再经碱洗塔处理达标后，自35m高的DA002排气筒排放。湿法清洗酸性废气G1、母版刻蚀废气G7、残胶干法刻蚀废气G16、金属刻蚀废气G17、湿法去胶酸性废气G19、成品刻蚀废气G20、刻蚀铬废气G21、铝湿法刻蚀废气G24、介质层沉积废气G25、介质层抛光酸性废气G26经密闭设备收集，检测废气G28通过通风橱收集；经收集后与一期的酸性废气、二期就地处理系统的排气一道进入现有的碱洗塔，处理达标后自35m高的DA002排气筒排放。湿法清洗碱性废气G2通过通风橱收集，母版显影废气G6、成品显影废气G23介质层抛光碱性废气G27通过密闭设备收集；上述废气收集后进入新增的酸洗塔，处理达标后自35m高的DA003排气筒排放。本项目含铬废水W5，纳入一期已建污水处理设施，采用物化法（化学沉淀）处理后；酸性废水W1、碱性废水W2、有机废水W3、晶圆冲洗废水W4、抛光废水W6、含铝废水W7、纯水制备反冲洗水W9、酸洗塔废水W10等进入二期污水处理设施，采用物化法（化学沉淀）处理后，与纯水制备排污水W8、空调园区管网，最终和生活污水经市政污水**处理厂集中处理。本项目主要噪声源为废气处理设备、冲切机、空压机、研发设备等，通过采用低噪声设备、进口消声、厂房隔声等降噪措施确保厂界噪声达标。危废暂存间位于厂房1楼西南侧，防风防雨防晒，地面铺设环氧地坪，设置收集沟，液态危废置于集液托盘，满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。项目产生的一般工业固体废物包括废晶圆、废包装材料、废过滤材料，暂存于成品仓库内的一般工业固废暂存区，其扩建后面积为2m2，一般工业固废贮存过程中满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。生活垃圾委托环卫部门收运处置。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

应按照《报告表》要求落实防渗措施，避免对土壤和地下水造成污染。应按照《报告表》要求建立健全环境管理和环境风险防范制度，完善风险防范措施和应急预案，防止运行、检维修期间发生风险事故。应按照《报告表》意见落实环境管理和监测计划等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测，确保污染物治理设施稳定运行。	地下集水坑、沉淀出水池、沉淀池等为混凝土结构，池壁四周涂覆环氧地坪，综合调节池储罐下地面硬化；甲烷、磷烷、乙硼烷、溴化氢、三氯化硼设置气体报警器，更新了应急预案；已建立环境管理机构和例行监测制度。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）总铬(吨/年) 废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）铬及其化合物(吨/年)

0.2288	2.3463	0	2.575	2.346
0.2949	1.6253	2.0054	1.92	1.625
0	0.0431	0.087	0.043	0.043
0	0.0008	0.0207	0.001	0.001
0.0008	0.0787	0.1413	0.08	0.079
0	0	0.0048	0	0
6840	4747.8	0	11587.8	4747.8	/
0	0	0.0046	0	0	/
0	0	0.0514	0	0	/
0	0	0.1004	0	0	/
0.0296	0.1515	0.3069	0.181	0.151	/
0	0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	含铬废水处理系统	《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1	依托现有含铬废水处理系统，采用化学沉淀工艺处理后排入监测放流槽（车间废水排放口）	车间排口（DW001）的六价铬未检出，总铬排放浓度满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1限值要求
2	工艺废水处理系统	《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1	新增工艺废水处理系统，采用化学沉淀+活性炭过滤工艺处理后与纯水制备排污水、空调系统排水一道进入废水总排口，****园区管网	废水总排口（DW002）的pH、化学需氧量、总有机碳、悬浮物、氨氮、总氮、总磷、氟化物排放浓度满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1限值要求

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DA001有机废气处理设施	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）；《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）	有机废气依托现有的活性炭吸附装置，处理达标后自35m高的DA001排气筒排放	DA001排气筒排放的丙酮、异丙醇、苯甲醛、非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值要求，臭气浓度满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）限值要求
2	DA002酸性废气处理设施	《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）；《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）	酸性废气经碱洗塔处理达标后，自35m高的DA002排气筒排放	DA002排气筒排放的氟化物、Cl2、SO2、NOx、HCl、HBr、NMHC、硝酸雾、磷酸雾、硫酸雾、颗粒物、钛及其化合物、铬及其化合物满足《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值要求，氨、臭气浓度满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）要求，其中铬及其化合物浓度低于《空气和废气颗粒物中铅等金属元素的测定电感耦合等离子体质谱法》（HJ657-2013）的检出限0.0003mg/m3
3	DA003碱性废气处理设施	《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）	碱性废气经**酸洗塔处理达标后，自35m高的DA003排气筒排放	DA003排气筒排放的氨、臭气浓度满足《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）限值要求

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂界噪声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值

通过采用低噪声设备、进口消声、厂房隔声等降噪措施确保厂界噪声达标

项目厂界四周的昼、夜间噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

应按照《报告表》要求落实防渗措施，避免对土壤和地下水造成污染

新增的地下集水坑、沉淀出水池、沉淀池等为混凝土结构，池壁四周涂覆环氧地坪，满足HJ610-2016重点防渗区要求，综合调节池储罐下地面硬化，满足HJ610-2016一般防渗区要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废物应按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》、《危险废物贮存污染控制标准》等有关规定分类收集、暂存并妥善处置，危险废物应委托有资质单位处置

危险暂存间满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，产生的危险废物委托资质单位处置；一般工业固废暂存区位于车间内，贮存过程中满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

新增甲烷、磷烷、乙硼烷、溴化氢、三氯化硼的气体报警器，更新突发环境事件应急预案

设甲烷、磷烷、乙硼烷、溴化氢、三氯化硼的毒性气体报警器，更新了突发环境事件应急预案，并重新备案

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程