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大面积高速电子束直写系统

安徽 -合肥 -合肥

发布时间： 2025年09月29日

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****2025年9至12月政府采购意向-大面积高速电子束直写系统详细情况

大面积高速电子束直写系统
项目所在采购意向：	****2025年9至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	大面积高速电子束直写系统
预算金额：	1773.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9900其他仪器仪表
采购需求概况：	（1）加速电压≥100kV；（2）扫描频率≥100MHz；（3）写场≥1000μm1000μm；（4）样品尺寸：8寸向下兼容，支持碎片，2mm2mm样品可直接装样；（5）主场拼接精度≤±15nm，套刻精度＜±30nm（写场不小于100μm*100μm）；（6）束流稳定性：Beam Current <±0.2%/h，Beam Drift <±30nm/h
预计采购时间：	2025-10
备注：