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感应耦合等离子刻蚀
招标详情
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zycgr240****12025年12月政府采购意向-感应耦合等离子刻蚀 详细情况
| 感应耦合等离子刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240****12025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1501 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子刻蚀 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2002 电气物理设备
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| 采购需求概况 ： |
采购标的物名称：感应耦合等离子刻蚀； 采购数量：1台； 采购标的物要求：介质层定向图形化刻蚀，高刻蚀速率、高各向异性，工艺参数灵活调控。优异的晶圆温度均匀性， 最大可容纳200 mm的晶圆，片内均匀性＜2%； 经过优化的电极冷却。通过感应耦合等离子体产生**度活性离子，实现高精度刻蚀。货期：合同签订后8个月内。质保期：设备验收合格后12个月。售后服务：针对中国大陆客户，客服工程师会在2小时内响应。需要现场服务时，24小时客服工程师到现场。
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| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-03-26
2026-02-11
2026-01-22
2026-01-22
2025-09-30
招标预告
感应耦合等离子刻蚀
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