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超高真空原子层沉积
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6100000.00
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zycgr240****12025年12月政府采购意向-超高真空原子层沉积 详细情况
| 超高真空原子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240****12025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1501 |
| 采购项目名称： | 超高真空原子层沉积 |
| 预算金额： | 610.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2002 电气物理设备
|
| 采购需求概况 ： |
采购标的物名称：超高真空原子层沉积； 采购数量：1台； 采购标的物要求：腔体：超高真空系统，小于等于1x10-9 mbar本底真空，8吋-2吋晶圆兼容；有机源：多种金属有机源（包括但限于 Ti，Ru、Cu 等）快速更换，双沉积模式实现多层结构；表面处理及原子层刻蚀反应气体：H2、NH3、Ar、N2等；温度：RT到600C。高质量绝缘材料、金属及金属氮化物材料薄膜沉积，极低杂质浓度，兼容原位表征。货期6个月，保质1年，提供现场技术咨询、免费培训。保修期内承诺免费提供部件与24小时响应。
|
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-01-22
2025-09-30
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