化学机械抛光系统

发布时间: 2025年09月30日
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zycgr240****12025年12月政府采购意向-化学机械抛光系统 详细情况
化学机械抛光系统
项目所在采购意向: zycgr240****12025年12月政府采购意向
采购单位: zycgr****1501
采购项目名称: 化学机械抛光系统
预算金额: 550.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2002 电气物理设备
采购需求概况 :
采购标的物名称:化学机械抛光系统; 采购数量:1台; 采购标的物要求:主要用于表面平坦化处理,用于**度三维集成中的互连布线。晶圆尺寸8英寸;均一性:8英寸范围内不均匀性<5%;表面粗糙度:≤0.4nm。货期:从合同签订在8个月内交货;保修期:1年,提供现场技术咨询,提供免费培训,保内维修承诺: 免费更换配件,报修承诺: 48小时。
预计采购时间: 2025-12
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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